買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)！專利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)獲悉北京京儀自動化裝備技術(shù)股份有限公司申請的專利溫控裝置及方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN116581058B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-08發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202310483715.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)溫控裝置及方法是由靳李富;曹小康;劉紫陽;胡文達(dá);耿海東;鄭璐;芮守禎;何茂棟設(shè)計研發(fā)完成，并于2023-04-28向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本溫控裝置及方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種溫控裝置及方法，包括：第一儲液箱和第二儲液箱通過第一三通閥和第二三通閥并聯(lián)；確定刻蝕機(jī)的工作狀態(tài)；在空載狀態(tài)時通過控制三通閥的開合狀態(tài)，利用制冷單元對第二儲液箱中的冷卻液進(jìn)行降溫；在瞬間大負(fù)載狀態(tài)時通過控制三通閥的開合狀態(tài)，利用循環(huán)冷卻主回路以及第二儲液箱中存儲的冷卻液進(jìn)行控溫。本發(fā)明通過在刻蝕機(jī)處于空載狀態(tài)時，利用循環(huán)冷卻支路存儲制冷單元所制造的多余冷量，當(dāng)刻蝕機(jī)處于瞬間大負(fù)載狀態(tài)時，則通過控制三通閥開合釋放循環(huán)冷卻支路中存儲的冷量，以結(jié)合循環(huán)冷卻主回路中的冷卻液，共同對刻蝕溫控腔進(jìn)行控溫，減少溫控裝置的能耗浪費(fèi)和換熱負(fù)荷，提高溫控裝置的溫控精度，保證刻蝕機(jī)工作溫度的穩(wěn)定性。

本發(fā)明授權(quán)溫控裝置及方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種溫控裝置，其特征在于，包括：循環(huán)冷卻主回路、循環(huán)冷卻支路、用于對所述循環(huán)冷卻主回路中的冷卻液進(jìn)行降溫的制冷單元，以及控制器； 所述循環(huán)冷卻主回路包括第一儲液箱，所述循環(huán)冷卻支路包括第二儲液箱；所述第一儲液箱和所述第二儲液箱通過第一三通閥和第二三通閥并聯(lián)； 所述控制器獲取刻蝕機(jī)的刻蝕溫控腔向所述第一儲液箱回流的連接管道中冷卻液的回口溫度，以基于所述回口溫度確定所述刻蝕機(jī)的工作狀態(tài)； 所述控制器在確定所述工作狀態(tài)為空載狀態(tài)時，通過控制所述第一三通閥和所述第二三通閥的開合狀態(tài)，僅利用所述循環(huán)冷卻主回路對所述刻蝕溫控腔進(jìn)行控溫，并利用所述制冷單元對所述循環(huán)冷卻支路中的第二儲液箱中存儲的冷卻液進(jìn)行降溫； 所述控制器在確定所述工作狀態(tài)為瞬間大負(fù)載狀態(tài)時，通過控制所述第一三通閥和所述第二三通閥的開合狀態(tài)，利用所述循環(huán)冷卻主回路以及降溫后的所述第二儲液箱中存儲的冷卻液，共同對所述刻蝕溫控腔進(jìn)行控溫。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人北京京儀自動化裝備技術(shù)股份有限公司，其通訊地址為：100176 北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)涼水河二街8號院14樓A座；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。