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龍圖騰網獲悉北京兆維電子(集團)有限責任公司申請的專利一種用于晶圓宏觀缺陷檢測的顯微裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116519595B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-08發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202310468962.9，技術領域涉及：G01N21/01；該發明授權一種用于晶圓宏觀缺陷檢測的顯微裝置是由李楠;劉欣;王爽;王馨瑩;林濤;李軍;張朝前設計研發完成，并于2023-04-27向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種用于晶圓宏觀缺陷檢測的顯微裝置在說明書摘要公布了：本發明提供了一種用于晶圓宏觀缺陷檢測的顯微裝置，包括照明單元、無限遠成像單元和相機單元；所述照明單元包括光源，從光源至檢測目標產品的光路方向依次設有第一透鏡、可調光闌、第二透鏡和濾光片輪；所述無限遠成像單元包括成像筒鏡和無限遠顯微物鏡，從檢測目標產品至相機單元的光路上依次設有所述無限遠顯微物鏡和成像筒鏡。采用本發明，能夠在非接觸的情況下對晶圓表面進行快速掃描，通過高分辨率圖像分析，識別出晶圓表面的缺陷，包括裂紋、劃痕、斑點、氣泡等，提高了晶圓宏觀缺陷的檢測速率和準確率。

本發明授權一種用于晶圓宏觀缺陷檢測的顯微裝置在權利要求書中公布了：1.一種用于晶圓宏觀缺陷檢測的顯微裝置，其特征在于：包括照明單元（1）、無限遠成像單元（2）和相機單元（3），所述照明單元（1）與檢測目標產品（4）對應布置并向檢測目標產品（4）上照射光線，所述無限遠成像單元（2）設于相機單元（3）與檢測目標產品（4）之間，所述檢測目標產品（4）反射的光線經過無限遠成像單元（2）并成像于相機單元（3）； 所述照明單元（1）包括光源（11），從光源（11）至檢測目標產品（4）的光路方向依次設有第一透鏡（12）、可調光闌（13）、第二透鏡（14）和濾光片輪（15）； 所述無限遠成像單元（2）包括成像筒鏡（22）和無限遠顯微物鏡（21），從檢測目標產品（4）至相機單元（3）的光路上依次設有所述無限遠顯微物鏡（21）和成像筒鏡（22）； 所述濾光片輪（15）至檢測目標產品（4）的光路上或檢測目標產品（4）至無限遠顯微物鏡（21）的光路上設有第一偏振片（23），所述無限遠顯微物鏡（21）至成像筒鏡（22）的光路上設有第二偏振片（24），第一偏振片（23）與第二偏振片（24）相互呈正交狀態，第一偏振片（23）至第二偏振片（24）之間的光路上設有微分干涉棱鏡（25）； 所述相機單元（3）包括直線運動機構（31）、黑白相機（32）和彩色相機（33），黑白相機（32）和彩色相機（33）設于直線運動機構（31）背離成像筒鏡（22）一側；直線運動機構（31）的運動方向垂直于成像筒鏡（22）的光路方向，直線運動機構（31）的移動端沿自身運動方向包括三個工位，其中第一工位空置，第二工位裝有第二分束鏡（34），第三工位裝有第一反射鏡（35）；當第二工位正對成像筒鏡（22）時，黑白相機（32）、彩色相機（33）中任一個正對成像筒鏡（22）的光路，另一個正對第二分束鏡（34）和第一反射鏡（35）的反射光路。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北京兆維電子(集團)有限責任公司，其通訊地址為：100015 北京市朝陽區酒仙橋路14號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。