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龍圖騰網(wǎng)獲悉北京東方計量測試研究所申請的專利密封真空電子器件內(nèi)部壓力的測量裝置及方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN116046245B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-08發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202310017768.9，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01L9/00；該發(fā)明授權(quán)密封真空電子器件內(nèi)部壓力的測量裝置及方法是由楊傳森;盧耀文;陳千睿;吳端;陳靜;陳俊儒;宋春堯;郭宇揚設(shè)計研發(fā)完成，并于2023-01-06向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本密封真空電子器件內(nèi)部壓力的測量裝置及方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及一種密封真空電子器件內(nèi)部壓力的測量裝置及方法，所述裝置包括：取樣腔，所述取樣腔內(nèi)設(shè)置有樣品夾具；標(biāo)準(zhǔn)體積室，與所述取樣腔通過管路連接；穿刺機構(gòu)，設(shè)置于所述取樣腔上；真空計，與所述取樣腔通過管路連接；分子泵組，與所述取樣腔通過管路連接；充氣裝置，與所述取樣腔通過管路連接。本發(fā)明可有效提高測量密封真空電子器件內(nèi)部壓力的精確度。

本發(fā)明授權(quán)密封真空電子器件內(nèi)部壓力的測量裝置及方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種密封真空電子器件內(nèi)部壓力的測量方法，利用密封真空電子器件內(nèi)部壓力的測量裝置實現(xiàn)，其特征在于，所述測量裝置包括： 取樣腔1，所述取樣腔1內(nèi)設(shè)置有樣品夾具； 標(biāo)準(zhǔn)體積室2，與所述取樣腔1通過管路連接； 穿刺機構(gòu)12，設(shè)置于所述取樣腔1上； 真空計13，與所述取樣腔1通過管路連接； 分子泵組17，與所述取樣腔1通過管路連接； 充氣裝置19，與所述取樣腔1通過管路連接； 所述測量方法包括以下步驟： S100，將待測樣品固定于所述樣品夾具上，并連通所述取樣腔1和所述標(biāo)準(zhǔn)體積室2，對所述取樣腔1和所述標(biāo)準(zhǔn)體積室2抽真空，再通過所述充氣裝置19向處于真空狀態(tài)的所述取樣腔1和所述標(biāo)準(zhǔn)體積室2內(nèi)充入標(biāo)準(zhǔn)氣體，記錄所述取樣腔1和所述標(biāo)準(zhǔn)體積室2的第一壓強P1； S200，隔斷所述取樣腔1和所述標(biāo)準(zhǔn)體積室2，對所述取樣腔1抽真空，再連通所述取樣腔1和所述標(biāo)準(zhǔn)體積室2，記錄所述取樣腔1和所述標(biāo)準(zhǔn)體積室2的第二壓強P2； S300，對所述取樣腔1和所述標(biāo)準(zhǔn)體積室2抽真空，再通過所述充氣裝置19向處于真空狀態(tài)的所述取樣腔1和所述標(biāo)準(zhǔn)體積室2內(nèi)充入標(biāo)準(zhǔn)氣體，記錄所述取樣腔1和所述標(biāo)準(zhǔn)體積室2的第三壓強P3； S400，隔斷所述取樣腔1和所述標(biāo)準(zhǔn)體積室2，對所述取樣腔1抽真空，再通過所述穿刺機構(gòu)12擊碎所述待測樣品，記錄所述取樣腔1的第四壓強P4； S500，對所述取樣腔1抽真空，再連通所述取樣腔1和所述標(biāo)準(zhǔn)體積室2，記錄所述取樣腔1和所述標(biāo)準(zhǔn)體積室2的第五壓強P5； S600，根據(jù)所述取樣腔1的容積V1、所述標(biāo)準(zhǔn)體積室2的容積V2、第一壓強P1、第二壓強P2、第三壓強P3、第四壓強P4和第五壓強P5確定所述待測樣品的內(nèi)部壓力。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人北京東方計量測試研究所，其通訊地址為：100086 北京市海淀區(qū)知春路82號1001室；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。