星航高能科技(南京)有限公司;南京晟源企業管理合伙企業(有限合伙)張偉獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉星航高能科技(南京)有限公司;南京晟源企業管理合伙企業(有限合伙)申請的專利一種間熱式電子槍及其使用方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115602507B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-08發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202211404562.3,技術領域涉及:H01J29/48;該發明授權一種間熱式電子槍及其使用方法是由張偉設計研發完成,并于2022-11-10向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種間熱式電子槍及其使用方法在說明書摘要公布了:本發明公開了一種間熱式電子槍及其使用方法,所述電子槍氣體放電產生等離子體中的正離子轟擊鋁陰極,鋁陰極發生二次電子,二次電子被鋁陰極和鎢針構成的靜電場加速并轟擊鎢針,將動能轉化成熱能,加熱鎢針,使鎢針達到熱發射狀態發射電子,并通過柵極負電壓調控鎢針發射電子束流大小,繼而通過柵極與陽極構成的靜電匯聚系統以及束流通道上的電磁匯聚系統,使鎢針發射的電子束流在工件表面獲得電子束能量高度集中的小束斑。本發明結合現有熱陰極電子槍與冷陰極電子槍技術的優點,不僅陰極壽命長,且可以獲得電子束能量密度高度集中的小電子束斑,滿足電子束精密加工制造工藝的需求。
本發明授權一種間熱式電子槍及其使用方法在權利要求書中公布了:1.一種間熱式電子槍,其特征在于,包括第一槍體7和第二槍體8,所述第一槍體7和第二槍體8均為筒狀結構且正對的端面相接,所述第二槍體8靠近第一槍體7的一端設置有隔板84,所述隔板84設置了若干通孔,所述第二槍體8設置了分子泵接口81; 所述第一槍體7遠離第二槍體8的一端內側表面向外凹陷形成凸臺,所述凸臺上放置有絕緣子1,所述絕緣子1包括柵極導電環102、鋁陰極導電環103、極間絕緣陶瓷環104、鎢針導電柱105和基體,所述鎢針導電柱105、極間絕緣陶瓷環104、鋁陰極導電環103和柵極導電環102由內向外同軸分布,所述鎢針導電柱105、極間絕緣陶瓷環104和鋁陰極導電環103焊接在一起,所述柵極導電環102內側表面通過基體與鎢針導電柱105、極間絕緣陶瓷環104、鋁陰極導電環103形成一體結構,所述基體放置在第一槍體7的凸臺上;所述基體內部設置有陶瓷導氣管101,所述陶瓷導氣管101的出氣端口位于基體靠近第二槍體8的一端表面,所述陶瓷導氣管101的進氣端口突出于基體遠離第二槍體8的一端表面;所述柵極導電環102與高壓電纜第一導線131聯接,所述鎢針導電柱105與高壓電纜第二導線132聯接,所述鋁陰極導電環103與高壓電纜第三導線133聯接; 所述鎢針導電柱105靠近第二槍體8的一端同軸設置鎢針10; 在所述鋁陰極導電環103靠近第二槍體8的一端外側表面同軸設置鋁陰極3,所述鋁陰極3遠離第二槍體8的一端表面平整,所述鋁陰極3靠近第二槍體8的一端表面設置成內凹球面;所述鋁陰極3外側表面同軸設置陶瓷套筒2,所述陶瓷導氣管101的出氣端口位于柵極4與陶瓷套筒2之間; 所述柵極導電環102外側表面同軸設置柵極4,所述柵極4靠近第二槍體8的一端表面設置成光滑的內凹球面,所述柵極4正對絕緣子1的一端表面設置了陶瓷墊環6,所述柵極4和陶瓷墊環6設置了供鎢針10穿過的中心孔,所述鎢針10靠近第二槍體8的一端不超過柵極4中心孔靠近第二槍體8的一端; 在所述隔板84正對柵極4的一端表面設置了與鎢針10同軸的陽極5,所述陽極5為朝向柵極4所在方向凸出的外表面光滑的錐狀結構,所述陽極5和隔板84中心均設置與鎢針10同軸的中心孔; 在所述隔板84遠離柵極4的一端設置了束流導引通道9,所述束流導引通道9中心設置與鎢針10同軸的中心孔,所述束流導引通道9遠離隔板84的一端與第二槍體8遠離隔板84的一端密封連接,所述束流導引通道9外側表面設置有電磁線圈組件。
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