江西兆馳半導體有限公司朱兵兵獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉江西兆馳半導體有限公司申請的專利一種垂直結構LED晶粒分選后質檢方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115910860B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-08發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202211404061.5,技術領域涉及:H01L21/67;該發明授權一種垂直結構LED晶粒分選后質檢方法是由朱兵兵;王曉明;趙曉明;董國慶;文國昇;金從龍設計研發完成,并于2022-11-10向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種垂直結構LED晶粒分選后質檢方法在說明書摘要公布了:本發明提供了一種垂直結構LED晶粒分選后質檢方法,通過將晶圓的原始標準數據與質檢BIN晶粒數據進行對比分析,分析項目:電壓、波長、亮度,按標準數據中電壓、亮度、波長數據的標準范圍進行對比,以此分類作為成品入庫,利用導電膜收集晶圓中晶粒,同時拋出收集晶圓中晶粒原始數據,點測機回測導電膜收集晶圓中晶粒比對原始標準數據,得到良率管控,提前防止切割產出不良晶粒流入客戶端,有效管控產品NG異常率,有效卡控LED晶粒產品質量,解決產品批次異常、分類混亂的問題,保證LED晶粒產品的質量及可靠性。
本發明授權一種垂直結構LED晶粒分選后質檢方法在權利要求書中公布了:1.一種垂直結構LED晶粒分選后質檢方法,其特征在于:包括以下步驟: S1:利用點測機對晶圓進行全測,得到所述晶圓中每顆晶粒的測試數據,并將每顆晶粒的所述測試數據及對應的坐標上傳計算機系統; S2:利用切割機對所述晶圓進行切割,以得到多顆離散的晶粒; S3:利用分選機根據晶粒坐標,電壓、波長、亮度進行分選,坐標取晶圓直徑23位置取樣,生產批次有P、Q、Y三類,同類特征劃分為同類批次,以此分選出N個晶圓,計算機系統根據P、Q、Y三類批次按每批選取若干個晶圓,分選機在每個被選取晶圓的不同位置分選若干顆晶粒到導電膜,根據晶粒的測試數據及坐標進行分類,使晶粒在所述導電膜上呈相對坐標排列整齊,將所述導電膜收集的晶粒送到點測機的質檢BIN進行晶粒測試; S4:根據所述導電膜收集多個晶粒位于晶圓處的坐標,得到步驟S1中與坐標對應的測試數據,將其定義為標準數據,將標準數據上傳計算機系統; S5:用點測機的質檢BIN進行晶粒全測,具體晶粒包含同類特征劃分為同類批次晶圓直徑23位置的全部晶粒,測試條件按步驟S1相同測試條件進行測試,得到質檢BIN晶粒數據; S6:將所述質檢BIN晶粒數據上傳計算機系統; S7:將所述標準數據與所述質檢BIN晶粒數據進行對比分析,判斷所述質檢BIN晶粒數據是否處于所述標準數據的標準范圍內;若是,則根據步驟S3同類特征劃分為P、Q、Y三類的同類批次類型,將所述質檢BIN晶粒數據符合標準范圍、且與步驟S5中測試晶粒屬于同批次類型的未測試晶粒作為成品入庫,按晶粒數據良率達成率、形態完整度及表面外觀進行優次分類,其中,優品列為a檔,次品列為b檔。
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