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龍圖騰網獲悉無錫優聯創芯機電設備有限公司申請的專利一種GPP芯片玻璃鈍化擦粉裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115172189B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-08發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210988468.0，技術領域涉及：H01L21/56；該發明授權一種GPP芯片玻璃鈍化擦粉裝置是由謝輝平設計研發完成，并于2022-08-17向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種GPP芯片玻璃鈍化擦粉裝置在說明書摘要公布了：本發明提供一種GPP芯片玻璃鈍化擦粉裝置，包括箱體罩殼，所述箱體罩殼的內部設有擺臂組件，且所述擺臂組件的底端轉動連接擦盤組件；所述擺臂組件用于帶動所述擦盤組件升降旋轉；所述箱體罩殼的內部底端固定有擦粉平臺，且所述擦粉平臺的表面配合連接有真空吸盤；所述真空吸盤的底端固定有主軸，且所述主軸貫穿所述擦粉平臺；所述主軸的底端設有升降組件；所述升降組件用于帶動所述主軸升降。本發明的擦粉裝置采用可升降的真空吸盤吸附固定硅片，利用可旋轉升降的擦盤組件對固定的硅片進行擦粉操作；采用本發明的裝置進行擦粉，擦粉的壓力能夠穩定均勻，可有效的確保硅片的加工質量，減少硅片的損耗，同時加工效率高。

本發明授權一種GPP芯片玻璃鈍化擦粉裝置在權利要求書中公布了：1.一種GPP芯片玻璃鈍化擦粉裝置，其特征在于：包括箱體罩殼（1），所述箱體罩殼（1）的內部設有擺臂組件（2），且所述擺臂組件（2）的底端轉動連接擦盤組件（3）；所述擺臂組件（2）用于帶動所述擦盤組件（3）升降旋轉； 所述箱體罩殼（1）的內部底端固定有擦粉平臺（4），且所述擦粉平臺（4）的表面配合連接有真空吸盤（61）；所述真空吸盤（61）的底端固定有主軸（6），且所述主軸（6）貫穿所述擦粉平臺（4）；所述主軸（6）的底端設有升降組件（5）；所述升降組件（5）用于帶動所述主軸（6）升降， 所述擺臂組件（2）包括升降部分和擺動部分，所述升降部分用于帶動所述擺動部分升降；所述升降部分包括伺服電機（26）、絲杠（27）、螺母（28）和導軌板（29）；所述伺服電機（26）的外側頂端固定有導軌板（29），所述導軌板（29）固定于箱體罩殼（1）的底端；所述伺服電機（26）的輸出端連接絲杠（27），且所述絲杠（27）配合連接螺母（28）；所述導軌板（29）的側部設有線軌（291）， 所述擺動部分包括連接殼（21）、擺臂軸（22）、固定盒（23）、第一減速電機（24）和傳動組件（25）；所述固定盒（23）的側部固定有第一滑塊（231），且所述第一滑塊（231）滑動連接所述線軌（291）；所述螺母（28）的側部固定有固定盒（23），且所述固定盒（23）的頂端內部轉動連接有擺臂軸（22）；所述擺臂軸（22）的頂端固定有連接殼（21）；所述擺臂軸（22）的另一端通過傳動組件（25）連接第一減速電機（24）， 所述升降組件（5）包括氣缸（51）、限位柱（52）、背板（53）、第二滑塊（54）和連接板（55），所述背板（53）固定于所述箱體罩殼（1）的底端，且所述背板（53）的側部固定有氣缸（51）；所述氣缸（51）的頂端固定第二滑塊（54）；所述第二滑塊（54）滑動連接所述限位柱（52），且所述限位柱（52）固定于所述背板（53）與所述箱體罩殼（1）之間；所述第二滑塊（54）的側部固定有連接板（55），且所述連接板（55）的側部固定有主軸（6）。

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