陜西科技大學朱媛媛獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉陜西科技大學申請的專利一種無鉛全無機鹵化物Cs3Cu2Br5鈣鈦礦薄膜憶阻器及其制備方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115332441B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-08發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210968214.2,技術領域涉及:H10N70/20;該發明授權一種無鉛全無機鹵化物Cs3Cu2Br5鈣鈦礦薄膜憶阻器及其制備方法是由朱媛媛;王紅軍;郭子聰;周靜;劉雍;熊銳設計研發完成,并于2022-08-12向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種無鉛全無機鹵化物Cs3Cu2Br5鈣鈦礦薄膜憶阻器及其制備方法在說明書摘要公布了:本發明公開了一種無鉛全無機鹵化物Cs3Cu2Br5鈣鈦礦薄膜憶阻器及其制備方法,屬于非易失性存儲器技術領域。本發明公開的一種無鉛全無機鹵化物Cs3Cu2Br5鈣鈦礦薄膜憶阻器的制備方法,選擇襯底并在其上沉積導電薄膜作為憶阻器的導電底部電極;在導電底部電極上進行無鉛全無機鹵化物鈣鈦礦成膜,作為憶阻器的存儲層;然后在Cs3Cu2Br5薄膜上沉積金屬導電薄膜作為導電頂部電極。本發明方法制備的基于無鉛全無機鹵化物Cs3Cu2Br5鈣鈦礦薄膜的憶阻器,具有構建工藝和結構簡單,同時擁有環境友好型和較高穩定性的優點;此外合成Cs3Cu2Br5薄膜的材料來源廣泛且成本低,有利用器件的規模化,具有良好的應用前景。
本發明授權一種無鉛全無機鹵化物Cs3Cu2Br5鈣鈦礦薄膜憶阻器及其制備方法在權利要求書中公布了:1.一種無鉛全無機鹵化物Cs3Cu2Br5鈣鈦礦薄膜憶阻器的制備方法,其特征在于,包括以下步驟: 首先在襯底上沉積導電薄膜作為導電底部電極,再將CuBr粉末和CsBr粉末混合后溶解于溶劑中,經過超聲處理后得到Cs3Cu2Br5先驅溶液,將Cs3Cu2Br5先驅溶液涂覆至導電底部電極上,成膜后進行退火處理,得到Cs3Cu2Br5鈣鈦礦薄膜存儲層;在Cs3Cu2Br5鈣鈦礦薄膜存儲層上沉積導電薄膜作為導電頂部電極,得到一種無鉛全無機鹵化物Cs3Cu2Br5鈣鈦礦薄膜憶阻器; 所述溶劑為二甲基亞砜和N,N-二甲基甲酰胺;所述二甲基亞砜和N,N-二甲基甲酰胺的摩爾比為(1~8):1; 在襯底上沉積導電薄膜和在Cs3Cu2Br5鈣鈦礦薄膜存儲層上沉積導電薄膜的方式均采用物理沉積工藝;采用旋涂工藝將Cs3Cu2Br5先驅溶液涂覆至導電底部電極上; 所述旋涂工藝的操作步驟為:先以500rpm~2000rpm的轉速將先驅溶液旋涂于底電極上,旋涂時間為5s~20s,隨后再以2000rpm~8000rpm繼續成膜10s~50s;在旋涂的最后5s~15s加入醋酸甲酯。
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