長春中科長光時(shí)空光電技術(shù)有限公司張星獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉長春中科長光時(shí)空光電技術(shù)有限公司申請(qǐng)的專利一種垂直腔面發(fā)射激光器及其制作方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN115173224B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-08發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:202210718669.9,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H01S5/183;該發(fā)明授權(quán)一種垂直腔面發(fā)射激光器及其制作方法是由張星設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2022-06-23向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本一種垂直腔面發(fā)射激光器及其制作方法在說明書摘要公布了:本申請(qǐng)公開了一種垂直腔面發(fā)射激光器及其制作方法,涉及半導(dǎo)體激光器領(lǐng)域,包括襯底;設(shè)于襯底上表面的VCSEL外延結(jié)構(gòu);設(shè)于VCSEL外延結(jié)構(gòu)上表面的絕緣層;設(shè)于開關(guān)電極外側(cè)的測(cè)溫電極,用于施加與開關(guān)電極相反的電壓;測(cè)溫電極包括設(shè)于VCSEL外延結(jié)構(gòu)上表面的第一測(cè)溫電極,以及設(shè)于隔離溝道底部的第二測(cè)溫電極;設(shè)于絕緣層上表面且位于測(cè)溫電極外側(cè)的消磁線圈電極,用于通入電流以產(chǎn)生與開關(guān)電極、測(cè)溫電極和垂直腔面發(fā)射激光器產(chǎn)生的總磁場(chǎng)大小相等、方向相反的磁場(chǎng)。本申請(qǐng)通過設(shè)置測(cè)溫電極和消磁線圈電極,使VCSEL實(shí)現(xiàn)自身溫度測(cè)試和整體無磁性,無需借助額外的部件,降低制作成本、提升制作效率,且體積仍為芯片級(jí)體積。
本發(fā)明授權(quán)一種垂直腔面發(fā)射激光器及其制作方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種垂直腔面發(fā)射激光器,其特征在于,包括: 襯底; 設(shè)于所述襯底上表面的VCSEL外延結(jié)構(gòu); 設(shè)于所述VCSEL外延結(jié)構(gòu)上表面的絕緣層; 設(shè)于開關(guān)電極外側(cè)的測(cè)溫電極,用于施加與所述開關(guān)電極相反的電壓;所述測(cè)溫電極包括設(shè)于所述VCSEL外延結(jié)構(gòu)上表面的第一測(cè)溫電極,以及設(shè)于隔離溝道底部的第二測(cè)溫電極; 設(shè)于所述絕緣層上表面且位于所述測(cè)溫電極外側(cè)的消磁線圈電極,用于通入電流以產(chǎn)生與所述開關(guān)電極、所述測(cè)溫電極和所述垂直腔面發(fā)射激光器產(chǎn)生的總磁場(chǎng)大小相等和方向相反的磁場(chǎng)。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人長春中科長光時(shí)空光電技術(shù)有限公司,其通訊地址為:130000 吉林省長春市北湖科技開發(fā)區(qū)明溪路1759號(hào)E305室;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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