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龍圖騰網獲悉江蘇甫瑞微納傳感科技有限公司申請的專利MEMS結構霧化芯及其制備方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114983032B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-08發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210619277.7，技術領域涉及：A24F40/46；該發明授權MEMS結構霧化芯及其制備方法是由劉瑞設計研發完成，并于2022-06-01向國家知識產權局提交的專利申請。

本MEMS結構霧化芯及其制備方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種MEMS結構霧化芯及其制備方法。所述MEMS結構霧化芯包括：支撐結構，所述支撐結構具有背對設置的第一表面和第二表面，所述第一表面設置有儲油槽，所述第二表面設置有與所述儲油槽相連通的導油孔，所述第二表面與第一表面背對設置；電阻加熱結構，所述電阻加熱結構設置在所述支撐結構的第二表面，當所述電阻加熱結構接入電源后，自所述導油孔輸送的流體介質能夠與所述電阻加熱結構接觸并被加熱霧化。本發明不僅使得霧化芯可靠性更高，溫度的一致性控制的更好，可以精準控制電阻范圍，而且還可以精準控制滲油的速率和數量，結合半導體工藝，可以實現批量化、低成本的制造，避免陶瓷工藝燒結時帶來的污染。

本發明授權MEMS結構霧化芯及其制備方法在權利要求書中公布了：1.一種MEMS結構霧化芯，其特征在于包括： 支撐結構，所述支撐結構包括層疊設置的第一支撐結構和第二支撐結構，所述第二支撐機構具有背對第一支撐機構的第一表面，所述第一支撐機構具有背對第二支撐機構的第二表面，所述第二表面與第一表面背對設置，所述第一表面設置有儲油槽，所述第二表面設置有與所述儲油槽相連通的導油孔，所述導油孔同時穿過所述第一支撐結構和第二支撐結構； 電阻加熱結構，所述電阻加熱結構設置在所述支撐結構的第二表面，當所述電阻加熱結構接入電源后，自所述導油孔輸送的流體介質能夠與所述電阻加熱結構接觸并被加熱霧化； 所述支撐結構的第二表面具有第一區域和第二區域，所述電阻加熱結構包括至少覆設在所述第一區域的圖案化的導電材料層，所述導油孔至少設置在所述第二區域； 所述支撐結構的第二表面的第二區域還設置有多個導引槽，每一所述導引槽還與所述導油孔相連通，并且，所述導引槽的深度小于所述第一支撐結構厚度的12； 所述導引槽內還填充有導引層，所述導引層由金屬顆粒和非金屬顆粒結合形成，其中，所述金屬顆粒與電阻加熱結構的材質相同，所述非金屬顆粒與第二支撐結構的材質相同，且所述電阻加熱結構還直接與所述導引層接觸或連接。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人江蘇甫瑞微納傳感科技有限公司，其通訊地址為：215000 江蘇省蘇州市高新區濱河路1358號4號樓301、302、303室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。