長江存儲科技有限責任公司張昆獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉長江存儲科技有限責任公司申請的專利OPC模型數據收集方法、數據收集系統及OPC模型優化方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114488680B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-08發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111622746.2，技術領域涉及：G03F1/36；該發明授權OPC模型數據收集方法、數據收集系統及OPC模型優化方法是由張昆;張雷設計研發完成，并于2021-12-28向國家知識產權局提交的專利申請。
本OPC模型數據收集方法、數據收集系統及OPC模型優化方法在說明書摘要公布了：公開了一種OPC模型數據收集方法、數據收集系統及OPC模型優化方法，OPC模型數據收集方法包括：采用初始OPC模型對測試圖案的曼哈頓版圖進行仿真得到仿真結果；將所述仿真結果輸入量測工具中，建立特征尺寸量測標準；以及采用所述特征尺寸量測標準采集所述測試圖案的實際晶圓圖案的特征尺寸，得到收集數據。該OPC模型數據收集方法及數據收集系統通過采用初始OPC模型對測試圖案的曼哈頓版圖進行了仿真，再采用仿真結果建立特征尺寸量測標準，經過仿真的版圖與實際晶圓的尺寸相差較小，以此建立特征尺寸量測標準能更好的與實際晶圓的圖案吻合，保證良好的數據收集結果，使得數據收集準確，進而能得到更精確的模型校準結果。
本發明授權OPC模型數據收集方法、數據收集系統及OPC模型優化方法在權利要求書中公布了：1.一種OPC模型數據收集方法，包括： 采用初始OPC模型對測試圖案的曼哈頓版圖進行仿真得到仿真結果； 將所述仿真結果輸入量測工具中，建立特征尺寸量測標準；以及 采用所述特征尺寸量測標準采集所述測試圖案的實際晶圓圖案的特征尺寸，得到收集數據。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人長江存儲科技有限責任公司，其通訊地址為：430074 湖北省武漢市武漢東湖新技術開發區未來三路88號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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