長江存儲科技有限責任公司袁靜獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉長江存儲科技有限責任公司申請的專利芯片的失效點定位方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114170147B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-08發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202111353366.3,技術領域涉及:G06T7/00;該發明授權芯片的失效點定位方法是由袁靜;湯光敏;張順勇設計研發完成,并于2021-11-16向國家知識產權局提交的專利申請。
本芯片的失效點定位方法在說明書摘要公布了:公開了一種芯片的失效點定位方法,其去除芯片的邊緣結構,以在芯片的截面上暴露出多個金屬層的部分,通過暴露的金屬層向芯片提供電流,并通過EBACE?BeamAbsorbanceCurrent,電子束吸收電流技術獲得芯片的截面在電流驅動下的截面圖像,根據該截面圖像的明暗區交界處位置可直接定位獲得失效點的深度位置,無需多次去層芯片,逐步暴露不同深度的底層金屬進行多次測試,有效提升了失效點的深度位置的分析測試速度,為芯片研發提供了便利。
本發明授權芯片的失效點定位方法在權利要求書中公布了:1.一種芯片的失效點定位方法,所述芯片包括堆疊的多個金屬層,包括: 去除所述芯片的邊緣結構,以獲得所述芯片的截面; 在所述芯片中所述多個金屬層中的至少一層上提供電流; 在電子顯微鏡下獲得所述芯片的截面在電流驅動下的截面圖像;其中, 所述截面圖像的明暗區交界處即是失效點的位置, 所述去除所述芯片的邊緣結構的步驟包括: 截面制樣至所述芯片的頂層金屬側邊暴露,所述芯片的截面至少暴露所述芯片的邊緣位置的頂層金屬。
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