上海微電子裝備(集團)股份有限公司王彥飛獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉上海微電子裝備(集團)股份有限公司申請的專利快門裝置、曝光系統以及光刻機獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115480454B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-08發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110605153.9，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權快門裝置、曝光系統以及光刻機是由王彥飛;吳翔實;楊松設計研發完成，并于2021-05-31向國家知識產權局提交的專利申請。
本快門裝置、曝光系統以及光刻機在說明書摘要公布了：本發明提供了一種快門裝置，包括遮光單元、運動執行單元、轉接單元和開設有通光孔的罩殼單元，所述轉接單元具有一斜面，所述運動執行單元安裝在所述轉接單元的斜面上，所述運動執行單元與所述遮光單元連接并帶動所述遮光單元運動，當所述運動執行單元在斷電時，由于所述運動執行單元重力的作用，安裝在所述運動執行單元上的遮光單元可以自動閉合以達到遮住通光孔光路的目的，起到光刻機整機斷電自動保護的作用。
本發明授權快門裝置、曝光系統以及光刻機在權利要求書中公布了：1.一種快門裝置，用于曝光系統，其特征在于，包括遮光單元、運動執行單元、轉接單元和罩殼單元，所述轉接單元具有一斜面，所述運動執行單元安裝在所述轉接單元的斜面上，所述罩殼單元開設有通光孔，所述運動執行單元與所述遮光單元連接并用于帶動所述遮光單元運動，當所述運動執行單元未通電時所述遮光單元遮住所述通光孔，其中，所述運動執行單元包括音圈電機，所述音圈電機包括一個扇形線圈，在設備斷電時，所述扇形線圈由于重力作用帶動所述遮光單元遮住所述通光孔。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海微電子裝備(集團)股份有限公司，其通訊地址為：201203 上海市浦東新區張東路1525號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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