三星顯示有限公司蘇炳洙獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉三星顯示有限公司申請的專利退火裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN110828333B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-08發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201910732929.6，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權退火裝置是由蘇炳洙;高仁哲;白種埈;鄭在佑設計研發完成，并于2019-08-09向國家知識產權局提交的專利申請。
本退火裝置在說明書摘要公布了：本發明涉及退火裝置。退火裝置包括：被配置為容納基板的主體；被配置為產生要被傳輸到主體的微波的微波產生單元；被配置為將微波從微波產生單元傳輸到主體的入射單元；以及布置在入射單元與主體之間的衍射單元。衍射單元被配置為在微波被傳輸到主體之前使微波穿過衍射單元。
本發明授權退火裝置在權利要求書中公布了：1.一種退火裝置，包括： 被配置為容納基板的主體； 被配置為產生要被傳輸到所述主體的微波的微波產生單元； 被配置為將所述微波從所述微波產生單元傳輸到所述主體的入射單元；以及 布置在所述入射單元與所述主體之間的衍射單元，所述衍射單元被配置為在所述微波被傳輸到所述主體之前使所述微波穿過所述衍射單元， 其中，所述衍射單元包括用于衍射所述微波的多個狹縫，所述多個狹縫中的每一個具有矩形形狀，所述矩形形狀具有寬度和小于所述寬度的高度，并且所述高度略大于所述微波的波長以產生衍射效果，所述寬度為180mm或更大并且220mm或更小，并且所述高度為45mm或更大并且65mm或更小， 其中，所述入射單元的四個側表面由從所述衍射單元的每個邊緣在垂直方向上延伸并偏向內部的同時傾斜地延伸的表面組成，并且所述入射單元包括開口，所述開口的寬度在從所述微波產生單元朝向所述衍射單元延伸的方向上變寬， 其中，所述微波產生單元包括雙磁控管以產生具有50mm的波長的微波，并且 其中，所述主體包括形成在所述主體的內表面上的漫反射結構，所述漫反射結構具有包括突起和凹陷的結構，并且所述包括突起和凹陷的結構具有54mm或更大并且66mm或更小的間距值。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人三星顯示有限公司，其通訊地址為：韓國京畿道；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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