應用材料公司D·J·本韋格努獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉應用材料公司申請的專利用于CMP監控的彩色成像獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115555982B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-08發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211145611.6，技術領域涉及：B24B37/013；該發明授權用于CMP監控的彩色成像是由D·J·本韋格努;R·D·托勒斯;B·A·斯韋德克;A·拉維德設計研發完成，并于2016-10-28向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于CMP監控的彩色成像在說明書摘要公布了：一種拋光系統，包括：拋光站，包括用以支撐拋光墊的壓板；支撐件，用以保持基板；直列計量站，用以在拋光站中拋光基板的表面之前或之后測量基板；及控制器。直列計量站包括彩色線掃描相機；白光源；框架，支撐光源和相機；及馬達，用以沿垂直于第一軸線的第二軸線導致在相機和支撐件之間的相對運動，以導致光源和相機橫跨基板掃描。控制器經配置以從相機接收顏色數據，從顏色數據產生二維彩色圖像，并且基于該彩色圖像控制在拋光站處的拋光。
本發明授權用于CMP監控的彩色成像在權利要求書中公布了：1.一種計算機程序產品，包括編碼有指令的非瞬時計算機可讀介質，所述指令用以使一個或多個處理器： 存儲數據，所述數據指示二維彩色空間中的區域的邊界，所述二維彩色空間具有一對顏色通道作為所述彩色空間的軸線，所述一對顏色通道包括第一顏色通道和第二顏色通道； 從相機接收基板的顏色數據； 從所述顏色數據生成所述基板的彩色圖像； 針對所述彩色圖像的多個像素的每個像素，執行所述像素的所述一對顏色通道的一對顏色值與所述二維彩色空間中的所述區域的所述邊界的比較，以確定所述一對顏色值是否滿足由所述邊界提供的閾值； 對所述彩色圖像中不滿足所述閾值的像素的數目進行計數，并將像素的所述數目與第二閾值進行比較；以及 基于所述多個像素的所述比較的結果生成所述基板的通過失敗指示。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人應用材料公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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