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龍圖騰網(wǎng)獲悉藍(lán)河科技(紹興)有限公司申請(qǐng)的專(zhuān)利噴淋裝置和半導(dǎo)體生長(zhǎng)設(shè)備獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN120272881B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202510756691.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C16/455；該發(fā)明授權(quán)噴淋裝置和半導(dǎo)體生長(zhǎng)設(shè)備是由劉永明;周慧娟;張偉設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-06-09向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本噴淋裝置和半導(dǎo)體生長(zhǎng)設(shè)備在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明公開(kāi)了一種噴淋裝置和半導(dǎo)體生長(zhǎng)設(shè)備。噴淋裝置包括設(shè)有至少一進(jìn)氣部的蓋體，以及設(shè)于所述蓋體以與所述蓋體之間以形成有擴(kuò)散腔的噴淋件。在擴(kuò)散腔內(nèi)可拆卸設(shè)置至少一隔離部，將擴(kuò)散腔分為至少二氣室，即可以根據(jù)對(duì)氣室的需求靈活設(shè)置不同數(shù)量的隔離部，隔離部包括若干個(gè)插接單元，通過(guò)各插接單元相互之間的依次首尾可拆卸相接還可以靈活改變氣室的噴淋面積，這樣可根據(jù)不同工藝需求調(diào)整各氣室噴淋區(qū)域。

本發(fā)明授權(quán)噴淋裝置和半導(dǎo)體生長(zhǎng)設(shè)備在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種噴淋裝置，其特征在于，包括： 蓋體100，設(shè)有至少一進(jìn)氣部； 噴淋件200，設(shè)于所述蓋體100以與所述蓋體100之間形成有擴(kuò)散腔300，所述擴(kuò)散腔300連通各所述進(jìn)氣部，并通過(guò)所述噴淋件200與外部相通； 至少一隔離部400，可拆卸設(shè)于所述蓋體100和所述噴淋件200之間，將所述擴(kuò)散腔300分為至少二氣室； 所述隔離部400包括若干個(gè)插接單元410，若干個(gè)所述插接單元410依次首尾可拆卸相接形成閉合結(jié)構(gòu)。

如需購(gòu)買(mǎi)、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類(lèi)似專(zhuān)利技術(shù)，可聯(lián)系本專(zhuān)利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人藍(lán)河科技(紹興)有限公司，其通訊地址為：311800 浙江省紹興市諸暨市陶朱街道萬(wàn)旺路8號(hào)1號(hào)樓1樓；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。