深圳市羅博威視科技有限公司梅爽獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉深圳市羅博威視科技有限公司申請的專利切割后晶圓檢測方法、裝置、計算機設備及存儲介質獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120219379B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510685857.X,技術領域涉及:G06T7/00;該發明授權切割后晶圓檢測方法、裝置、計算機設備及存儲介質是由梅爽;李明煒;華凱;王祥銅;胡彥潮設計研發完成,并于2025-05-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本切割后晶圓檢測方法、裝置、計算機設備及存儲介質在說明書摘要公布了:本發明涉及一種切割后晶圓檢測方法、裝置、計算機設備及存儲介質,所述方法包括:采用大視野拍攝,獲得完整晶圓照片;根據完整晶圓照片,獲取由晶圓被切割而成的多個die之間的分隔點;根據分隔點,獲取拍攝軌跡;根據拍攝軌跡,采用小視野拍攝以獲取多張局部晶圓照片;根據局部晶圓照片,識別角點;根據拍攝軌跡和角點,獲取每張局部晶圓照片所屬的die;根據每張局部晶圓照片所屬的die,將局部晶圓照片分割,獲取分割照片;根據拍攝軌跡和局部晶圓照片的尺寸,獲取相鄰局部晶圓照片的重疊像素;根據拍攝軌跡和重疊像素,將屬于目標die的分割照片和局部晶圓照片拼接為目標die完整圖。本發明可以將局部晶圓照片拼接為目標die完整圖,且節約資源。
本發明授權切割后晶圓檢測方法、裝置、計算機設備及存儲介質在權利要求書中公布了:1.一種切割后晶圓檢測方法,其特征在于,所述方法包括: 采用大視野拍攝,以獲得完整晶圓照片; 根據所述完整晶圓照片,獲取由晶圓被切割而成的多個die之間的分隔點; 根據所述分隔點,獲取拍攝軌跡; 根據所述拍攝軌跡,采用小視野拍攝以獲取多張局部晶圓照片; 根據所述局部晶圓照片,識別角點; 根據所述拍攝軌跡和所述角點,獲取每張所述局部晶圓照片所屬的die; 根據每張所述局部晶圓照片所屬的die,將所述局部晶圓照片分割,以獲取分割照片; 所述根據所述拍攝軌跡和所述局部晶圓照片的尺寸,獲取相鄰所述局部晶圓照片的重疊像素; 根據所述拍攝軌跡和所述重疊像素,將屬于目標die的分割照片和屬于所述目標die的局部晶圓照片拼接為目標die完整圖,以對所述切割后晶圓進行檢測; 其中,每張所述局部晶圓照片的尺寸小于一個完整die的尺寸; 所述根據所述拍攝軌跡和所述局部晶圓照片的尺寸,獲取相鄰所述局部晶圓照片的重疊像素,包括: 獲取所述拍攝軌跡中的相鄰拍攝點位之間的點位距離, 根據所述點位距離和所述局部晶圓照片的尺寸,獲取所述重疊像素, 其中,所述重疊像素包括X軸重疊像素和Y軸重疊像素; 所述根據所述拍攝軌跡和所述重疊像素,將屬于目標die的分割照片和屬于所述目標die的局部晶圓照片拼接為目標die完整圖,以對所述切割后晶圓進行檢測,包括: 將所述屬于目標die的分割照片和屬于所述目標die的局部晶圓照片作為待拼接圖像, 獲取所述拍攝點位在所述待拼接圖像中的位置作為拍攝位置; 根據所述拍攝軌跡和所述拍攝位置,獲取每個所述拍攝點位在小視野坐標系下的點位坐標, 根據所述局部晶圓照片尺寸、所述點位坐標和所述拍攝位置,獲取每張所述待拼接圖像的坐標范圍, 根據角點坐標,獲取所述目標die完整圖的坐標范圍, 根據所述待拼接圖像的坐標范圍和所述目標die完整圖的坐標范圍,獲取seg位置, 根據所述seg位置,將所述待拼接圖像拼接為所述目標die完整圖, 其中,所述seg位置用于指示所述待拼接圖像中的部分die區域相對于所述目標die完整圖的位置。
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