杭州左藍微電子技術有限公司汪泉獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉杭州左藍微電子技術有限公司申請的專利RF MEMS濾波器及其制備方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN107979353B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201810014898.6，技術領域涉及：H03H9/46；該發明授權RF MEMS濾波器及其制備方法是由汪泉;張樹民;王國浩設計研發完成，并于2018-01-08向國家知識產權局提交的專利申請。
本RF MEMS濾波器及其制備方法在說明書摘要公布了：本發明提出一種RFMEMS濾波器，包括：硅襯底或者壓電基板；沉積在所述硅襯底上的壓電薄膜；沉積于壓電基板或者壓電薄膜上的金屬電極；填充于金屬電極之間的絕緣層，以及沉積于金屬電極和絕緣層上的壓電層，以此實現聲表面波SAW濾波；沉積于上述壓電層上的溫度補償層。本發明使用了雙壓電層，可以通過壓電層材料的搭配以及薄膜晶體取向和厚度控制，調節器件的機電耦合性能；同時相比于傳統的單壓電層SAW，在獲得相同頻率器件的過程中可有效降低對光刻的線寬要求。
本發明授權RF MEMS濾波器及其制備方法在權利要求書中公布了：1.一種RFMEMSSAW濾波器，其特征在于，包括： 第一壓電層； 設置在所述第一壓電層上的金屬電極，所述金屬電極經圖形化形成間隔設置； 填充于所述金屬電極之間的介質層，所述介質層與所述金屬電極具有相同的高度； 以及設置于所述金屬電極和所述介質層上的第二壓電層； 還包括位于所述第二壓電層上的溫度補償層。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人杭州左藍微電子技術有限公司，其通訊地址為：310018 浙江省杭州市杭州經濟技術開發區白楊街道6號大街452號2幢B0711-0714號房；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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