東京毅力科創株式會社佐佐木康晴獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉東京毅力科創株式會社申請的專利等離子體處理裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114512391B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210089374.X，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權等離子體處理裝置是由佐佐木康晴;石川聰;千葉諒設計研發完成，并于2017-12-05向國家知識產權局提交的專利申請。
本等離子體處理裝置在說明書摘要公布了：本發明提供一種等離子體處理裝置，能夠抑制由貫通孔引起的異常放電的發生。等離子體處理裝置具有：靜電卡盤，其具有載置被處理體的載置面和與所述載置面相對的背面，在該靜電卡盤形成有貫通所述載置面和所述背面的第一通孔；以及基臺，其具有支承所述靜電卡盤的支承面，在該基臺形成有與所述第一通孔連通的第二通孔，在該第一通孔和第二通孔內具有嵌入構件，其中，所述嵌入構件的與所述靜電卡盤的所述第一通孔和所述基臺的所述第二通孔的連通部分對應的部分至少由彈性構件形成。
本發明授權等離子體處理裝置在權利要求書中公布了：1.一種等離子體處理裝置，其特征在于，具有： 靜電卡盤，其具有載置被處理體的載置面和與所述載置面相對的背面，在該靜電卡盤形成有貫通所述載置面和所述背面的第一通孔；以及 基臺，其具有支承所述靜電卡盤的支承面，在該基臺形成有與所述第一通孔連通的第二通孔，在該第一通孔和第二通孔內具有嵌入構件， 其中，所述嵌入構件的與所述靜電卡盤的所述第一通孔和所述基臺的所述第二通孔的連通部分對應的部分至少由彈性構件形成。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人東京毅力科創株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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