買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)！專利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)獲悉佳能特機(jī)株式會(huì)社申請(qǐng)的專利成膜裝置及使用其的有機(jī)EL顯示裝置的制造方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN116043181B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-22發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202310121870.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C14/50；該發(fā)明授權(quán)成膜裝置及使用其的有機(jī)EL顯示裝置的制造方法是由石井博;柏倉(cāng)一史設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2018-07-27向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本成膜裝置及使用其的有機(jī)EL顯示裝置的制造方法在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明的成膜裝置包含基板保持單元和靜電吸盤，所述基板保持單元包含用于支承基板的周緣部的支承部，所述靜電吸盤設(shè)置于所述支承部的上方并用于吸附基板，所述支承部包含設(shè)置于第一方向的第一支承部件和以與所述第一支承部件相對(duì)的方式設(shè)置于所述第一方向的第二支承部件，所述第一支承部件和所述第二支承部件分別能夠在各自的基板支承面支承基板的方向上位移。

本發(fā)明授權(quán)成膜裝置及使用其的有機(jī)EL顯示裝置的制造方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種成膜裝置，用于經(jīng)由掩模在基板上進(jìn)行成膜，其中， 包含： 基板保持單元，所述基板保持單元包含支承所述基板的第一邊的周緣部的第一支承部件、和支承所述基板的與所述第一邊相對(duì)的第二邊的周緣部的第二支承部件； 靜電吸盤，所述靜電吸盤設(shè)置在所述基板的上方，用于吸附所述基板；以及 驅(qū)動(dòng)部，用于驅(qū)動(dòng)所述基板保持單元以及所述靜電吸盤， 所述第一支承部件與所述第二支承部件分別具有基板支承面部和軸部，所述軸部經(jīng)由彈性體部與所述基板支承面部連接， 所述第一支承部件與所述第二支承部件的各自的所述基板支承面部由于構(gòu)成所述彈性體部的板簧的彈性變形，相對(duì)于所述軸部在與所述靜電吸盤的吸附面交叉的方向上彈性地位移， 所述第一支承部件和所述第二支承部件的各自的所述基板支承面部的位移軸和彈性體部的位移軸在與基板面平行的方向上相互分離， 所述第一支承部件和所述第二支承部件分別包含引導(dǎo)基板支承面部的位移的引導(dǎo)部。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人佳能特機(jī)株式會(huì)社，其通訊地址為：日本新瀉縣；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。