株式會社尼康柴崎祐一獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉株式會社尼康申請的專利加工裝置及加工方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115519240B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202211383444.9,技術領域涉及:B23K26/08;該發明授權加工裝置及加工方法是由柴崎祐一設計研發完成,并于2018-04-26向國家知識產權局提交的專利申請。
本加工裝置及加工方法在說明書摘要公布了:本發明的加工裝置具備:第1載臺系統,其具有載置工件W的平臺12,且使保持于平臺的工件移動;光束照射系統500,其包含射出光束LB的聚光光學系統530;以及控制裝置,其控制第1載臺系統及照射系統;一邊使平臺與來自聚光光學系統的光束相對移動,一邊對工件的目標部位進行加工,且可變更聚光光學系統的射出面側的第1面MP上的光束的強度分布、及聚光光學系統的光軸AX方向上的位置與第1面不同的第2面上的光束的強度分布的至少一者。
本發明授權加工裝置及加工方法在權利要求書中公布了:1.一種加工裝置,其一邊使工件與光束相對移動一邊照射該光束來對該工件進行加工,所述加工裝置具備: 光束照射系統,其包含射出所述光束的聚光光學系統; 所述光束照射系統具有光學元件,所述光學元件可變更所述聚光光學系統的射出面側的加工面上的所述光束的強度分布、及所述聚光光學系統的光瞳面上的所述光束的剖面強度分布; 通過所述光學元件進行的所述光瞳面上的所述光束的剖面強度分布的變更,包含所述光瞳面上的所述光束的剖面形狀的變更; 所述光瞳面上的所述光束的剖面形狀于至少一部分具有直線狀的邊緣,且可變更為: 所述直線狀的邊緣的一部分沿著在所述光瞳面上通過所述光瞳面的中心的第1假想軸線、和在所述光瞳面上通過所述光瞳面的中心且與所述第1假想軸線正交的第2假想軸線的至少一者的第1形狀;以及 所述直線狀的邊緣不沿著所述第1假想軸線與所述第2假想軸線的任何一個的第2形狀。
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