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      浙江求是創(chuàng)芯半導(dǎo)體設(shè)備有限公司曹建偉獲國(guó)家專利權(quán)

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      龍圖騰網(wǎng)獲悉浙江求是創(chuàng)芯半導(dǎo)體設(shè)備有限公司申請(qǐng)的專利束流參數(shù)處理方法、裝置、電子設(shè)備、存儲(chǔ)介質(zhì)及產(chǎn)品獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN120145877B 。

      龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:202510608296.3,技術(shù)領(lǐng)域涉及:G06F30/27;該發(fā)明授權(quán)束流參數(shù)處理方法、裝置、電子設(shè)備、存儲(chǔ)介質(zhì)及產(chǎn)品是由曹建偉;沈文杰;戴松喬;俞之潔;吳盡;芮志仲;沈加富;湯承偉設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2025-05-13向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

      束流參數(shù)處理方法、裝置、電子設(shè)備、存儲(chǔ)介質(zhì)及產(chǎn)品在說明書摘要公布了:本發(fā)明公開了束流參數(shù)處理方法、裝置、電子設(shè)備、存儲(chǔ)介質(zhì)及產(chǎn)品。束流參數(shù)處理方法包括:將期望的束流狀態(tài)值輸入?yún)?shù)預(yù)測(cè)模型,得到離子注入機(jī)中至少一個(gè)第一元器件的預(yù)測(cè)參數(shù)值,預(yù)測(cè)參數(shù)值包括為達(dá)到束流狀態(tài)所對(duì)應(yīng)第一元器件的數(shù)值所需達(dá)到的參數(shù)值;針對(duì)每個(gè)第一元器件,將第一元器件所對(duì)應(yīng)的預(yù)測(cè)參數(shù)值和第一元器件當(dāng)前狀態(tài)下的當(dāng)前參數(shù)值輸入至第一元器件所對(duì)應(yīng)的時(shí)間關(guān)聯(lián)模型,得到第一元器件的一組爬坡數(shù)據(jù);針對(duì)每個(gè)第一元器件,將所對(duì)應(yīng)的一組爬坡數(shù)據(jù),依次設(shè)定至第一元器件,直至第一元器件達(dá)到所對(duì)應(yīng)的預(yù)測(cè)參數(shù)值。避免由當(dāng)前參數(shù)值設(shè)定至預(yù)測(cè)參數(shù)值造成第一元器件壽命降低,甚至造成損壞。提升了第一元器件參數(shù)值設(shè)定的安全性。

      本發(fā)明授權(quán)束流參數(shù)處理方法、裝置、電子設(shè)備、存儲(chǔ)介質(zhì)及產(chǎn)品在權(quán)利要求書中公布了:1.一種束流參數(shù)處理方法,其特征在于,包括: 將期望的束流狀態(tài)值輸入?yún)?shù)預(yù)測(cè)模型,得到離子注入機(jī)中至少一個(gè)第一元器件的預(yù)測(cè)參數(shù)值,所述預(yù)測(cè)參數(shù)值包括為達(dá)到所述束流狀態(tài)值所對(duì)應(yīng)第一元器件的數(shù)值所需達(dá)到的參數(shù)值; 針對(duì)每個(gè)第一元器件,將所述第一元器件所對(duì)應(yīng)的預(yù)測(cè)參數(shù)值和所述第一元器件當(dāng)前狀態(tài)下的當(dāng)前參數(shù)值輸入至所述第一元器件所對(duì)應(yīng)的時(shí)間關(guān)聯(lián)模型,得到所述第一元器件的一組爬坡數(shù)據(jù); 針對(duì)每個(gè)所述第一元器件,將所對(duì)應(yīng)的一組爬坡數(shù)據(jù),依次設(shè)定至所述第一元器件,直至所述第一元器件達(dá)到所對(duì)應(yīng)的預(yù)測(cè)參數(shù)值,所述第一元器件從所對(duì)應(yīng)當(dāng)前參數(shù)值逐步調(diào)節(jié)至所對(duì)應(yīng)預(yù)測(cè)參數(shù)值。

      如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人浙江求是創(chuàng)芯半導(dǎo)體設(shè)備有限公司,其通訊地址為:310000 浙江省杭州市臨平區(qū)臨平街道經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)順達(dá)路500號(hào)1幢103室;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。

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