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龍圖騰網獲悉西安稀有金屬材料研究院有限公司申請的專利一種高純鈦濺射靶材的制備方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120138584B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510397607.6，技術領域涉及：C23C14/35；該發明授權一種高純鈦濺射靶材的制備方法是由王旭彪;吳金平;劉承澤;王作華;劉未設計研發完成，并于2025-04-01向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種高純鈦濺射靶材的制備方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種高純鈦濺射靶材的制備方法，該方法包括以下步驟：步驟一、開坯鍛造；步驟二、再次鍛造；步驟三、壓延；步驟四、異步軋制；步驟五、校平；步驟六、梯度完全再結晶退火，得到高純鈦濺射靶材。本發明的制備方法采用多向鍛造結合異步軋制等工藝，明顯弱化了變形過程中應力分布不均及強織構的形成，高純鈦濺射靶材的晶粒得以顯著細化和均勻化，且充分保證了橫、縱向組織中晶粒尺寸分布和晶體取向分布的均勻性；同時，在一定程度提高了等效應變，提高了產能、節約能耗，該方法的可控性高，所制備高純鈦濺射靶材，無缺陷、晶粒充分細化、組織均勻性高，適合作為高品質半導體用濺射靶材。

本發明授權一種高純鈦濺射靶材的制備方法在權利要求書中公布了：1.一種高純鈦濺射靶材的制備方法，其特征在于，該方法包括以下步驟： 步驟一、開坯鍛造：將質量純度不低于99.99%的高純鈦鑄錠切除冒口和底端，且將表面的吸氧層及宏觀缺陷車削、打磨、清洗干凈，然后在表面均勻涂覆玻璃防護潤滑劑并風干，并在電阻爐中隨爐加熱保溫，再進行三鐓三拔的開坯鍛造處理，單次鍛造比均不小于1.8，鍛造溫度為800℃~950℃，鍛造保溫時間為2h~3h，結束后水冷至室溫，得到開坯鍛造高純鈦鑄錠； 步驟二、再次鍛造：將步驟一中得到的開坯鍛造高純鈦鑄錠在表面均勻涂覆玻璃防護潤滑劑并風干，并在電阻爐中隨爐加熱保溫，再進行單次鍛造比不小于1.8的多向等溫鍛造處理，鍛造溫度為700℃~780℃，鍛造保溫時間為1h~2h，鍛造方向為3個~6個，累計變形量為40%~70%，鍛造結束后空冷至室溫，得到再次鍛造高純鈦鑄錠； 步驟三、壓延：將步驟二中得到的再次鍛造高純鈦鑄錠進行線切割分料，然后在500℃~700℃的電阻爐中隨爐加熱，并保溫0.5h~1h，再進行累計變形量為20%~30%的壓延，得到高純鈦板坯； 步驟四、異步軋制：將步驟三中得到的高純鈦板坯在電阻爐中隨爐加熱保溫，然后進行異步軋制，異步軋制的總變形量為50%~70%，異步軋制結束后空冷至室溫，得到異步軋制態高純鈦板材； 步驟五、校平：將步驟四中得到的異步軋制態高純鈦板材進行校平處理，得到平整度不大于0.5mm的校平高純鈦板材； 步驟六、梯度完全再結晶退火：將步驟五中得到的校平高純鈦板材在真空爐中進行到溫入爐保溫的梯度完全再結晶退火，然后空冷至室溫，加工后得到高純鈦濺射靶材。

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