蘇州優(yōu)晶半導(dǎo)體科技股份有限公司;江蘇科技大學(xué)袁長路獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉蘇州優(yōu)晶半導(dǎo)體科技股份有限公司;江蘇科技大學(xué)申請的專利一種氣力輸送原料的碳化硅晶體的生長爐及生長方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN119843356B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202510315479.6,技術(shù)領(lǐng)域涉及:C30B23/00;該發(fā)明授權(quán)一種氣力輸送原料的碳化硅晶體的生長爐及生長方法是由袁長路;陳建明;趙文超;張江濤;張禮華;陳曙光;王葉松;裴永勝設(shè)計研發(fā)完成,并于2025-03-18向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本一種氣力輸送原料的碳化硅晶體的生長爐及生長方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明屬于碳化硅晶體生長技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種氣力輸送原料的碳化硅晶體的生長爐及生長方法。生長爐包括:從底部進入坩堝的原料氣力輸送管道;第一導(dǎo)流板,其蓋于并密封輸送管道的上端,其邊緣延伸至輸送管道外且與坩堝內(nèi)壁之間留有間隙,輸送管道的出口在第一導(dǎo)流板的下方;第二導(dǎo)流板,其一端固定于坩堝內(nèi)壁,其另一端曲折的靠近第一導(dǎo)流板的邊緣且懸空設(shè)置;傾斜導(dǎo)流板,其一端固定于輸送管道的外壁,其另一端懸空設(shè)置;折流板,其一端固定于坩堝內(nèi)壁或輸送管道外壁,其另一端懸空設(shè)置,傾斜導(dǎo)流板引導(dǎo)從出口流出的部分物流向下流動流向折流板;導(dǎo)流板和折流板為石墨材質(zhì)。通過持續(xù)向坩堝中輸送原料,生長大尺寸晶體。
本發(fā)明授權(quán)一種氣力輸送原料的碳化硅晶體的生長爐及生長方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種氣力輸送原料的碳化硅晶體的生長爐,其特征在于,包括: 坩堝(1),其設(shè)置在爐體內(nèi),其底部中心設(shè)置有開口,所述開口的邊緣向上豎直延伸,形成套筒(101); 第一段原料氣力輸送管道(2),其豎直設(shè)置,其從所述坩堝(1)的底部中心穿過所述套筒(101)延伸至所述坩堝(1)中,其與所述套筒(101)密封連接; 第一石墨導(dǎo)流板(3),其蓋于并密封所述第一段原料氣力輸送管道(2)的上端,其邊緣延伸至所述第一段原料氣力輸送管道(2)外且其邊緣與坩堝內(nèi)壁之間留有間隙,所述第一段原料氣力輸送管道(2)的出口位于所述第一石墨導(dǎo)流板(3)的下方和所述套筒(101)的上方,所述出口沿所述第一段原料氣力輸送管道(2)的周向設(shè)置; 第二石墨導(dǎo)流板(4),其一端固定在坩堝內(nèi)壁上,其另一端靠近所述第一石墨導(dǎo)流板(3)的邊緣而懸空設(shè)置,其懸空端與所述第一石墨導(dǎo)流板(3)的邊緣曲折的靠近設(shè)置而形成曲折物流通道; 傾斜石墨導(dǎo)流板,其一端與所述第一段原料氣力輸送管道(2)的外壁固定連接,其另一端懸空設(shè)置,其固定端高度高于懸空端高度; 石墨折流板(5),其一端固定在坩堝內(nèi)壁或套筒外壁或所述第一段原料氣力輸送管道(2)的外壁上,其另一端懸空設(shè)置,其固定端高度高于懸空端高度,所述傾斜石墨導(dǎo)流板引導(dǎo)從所述出口流出的部分物流向下流動流向所述石墨折流板(5),物流流向所述石墨折流板(5)后氣流折返,固體原料落入所述坩堝(1)的下部; 所述第一石墨導(dǎo)流板(3)的邊緣設(shè)置有沿第一石墨導(dǎo)流板(3)的周向環(huán)繞的第一凸起(301),所述第二石墨導(dǎo)流板(4)的懸空端設(shè)置有與所述第一凸起(301)相向錯位設(shè)置的第二凸起(401),所述第一凸起(301)與所述第二凸起(401)相向錯位設(shè)置形成S形的曲折物流通道。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人蘇州優(yōu)晶半導(dǎo)體科技股份有限公司;江蘇科技大學(xué),其通訊地址為:215300 江蘇省蘇州市昆山市開發(fā)區(qū)杜鵑路555號A6#廠房;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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