蘇州優晶半導體科技股份有限公司;江蘇科技大學蔡金榮獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉蘇州優晶半導體科技股份有限公司;江蘇科技大學申請的專利一種大尺寸碳化硅單晶生長用坩堝及其使用方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119800493B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510300974.X,技術領域涉及:C30B23/00;該發明授權一種大尺寸碳化硅單晶生長用坩堝及其使用方法是由蔡金榮;陳建明;袁長路;趙文超;張江濤;張禮華;陳曙光;王葉松;裴永勝設計研發完成,并于2025-03-14向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種大尺寸碳化硅單晶生長用坩堝及其使用方法在說明書摘要公布了:本發明公開了一種大尺寸碳化硅單晶生長用坩堝及其使用方法,涉及人工晶體生長技術領域。該大尺寸碳化硅單晶生長用坩堝包括坩堝本體、長晶罩和備料倉。長晶罩罩設于坩堝本體上,長晶罩的內頂面設置有長晶臺,長晶罩設置有翼板,翼板活動設置于備料倉和坩堝本體之間,備料倉的底部開設有出料口,翼板開設有過料口,出料口與過料口錯位設置,長晶罩用于帶動翼板運動至預設位置,以使過料口與出料口連通。與現有技術相比,本發明提供的大尺寸碳化硅單晶生長用坩堝由于采用了開設于翼板上的過料口以及開設于備料倉底部的出料口,所以能夠在碳化硅單晶生長過程中進行補料,以增大碳化硅多晶粉料的升華量,實現大尺寸碳化硅單晶生長,滿足客戶需求。
本發明授權一種大尺寸碳化硅單晶生長用坩堝及其使用方法在權利要求書中公布了:1.一種大尺寸碳化硅單晶生長用坩堝,其特征在于,包括坩堝本體、長晶罩和備料倉,所述長晶罩罩設于所述坩堝本體上,所述長晶罩的內頂面設置有長晶臺,所述長晶臺用于粘接碳化硅籽晶片,所述坩堝本體用于盛裝碳化硅多晶粉料,并在加熱時使其升華,從而在碳化硅籽晶片上生長碳化硅單晶,所述長晶罩設置有翼板,所述翼板活動設置于所述備料倉和所述坩堝本體之間,所述備料倉用于盛裝碳化硅多晶粉料,所述備料倉的底部開設有出料口,所述翼板開設有過料口,所述出料口與所述過料口錯位設置,所述長晶罩用于帶動所述翼板運動至預設位置,以使所述過料口與所述出料口連通,從而使得所述備料倉內的碳化硅多晶粉料流至所述坩堝本體; 所述備料倉呈圓環狀,所述備料倉的中部設置有讓位孔,所述長晶罩呈圓形,所述長晶罩與所述備料倉同軸設置,所述長晶罩穿過所述讓位孔,且部分伸入所述坩堝本體設置,所述長晶罩與所述讓位孔轉動配合; 所述坩堝本體的頂部設置有限位托環,所述翼板呈圓環狀,所述翼板搭接于所述限位托環上,且與所述限位托環轉動配合,所述限位托環與所述過料口錯位設置。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人蘇州優晶半導體科技股份有限公司;江蘇科技大學,其通訊地址為:215300 江蘇省蘇州市昆山市開發區杜鵑路555號A6#廠房;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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