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龍圖騰網(wǎng)獲悉通快許廷格兩合公司申請的專利一種等離子體系統(tǒng)及使用該系統(tǒng)的等離子體陣列系統(tǒng)獲國家實(shí)用新型專利權(quán)，本實(shí)用新型專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN223218257U 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-12發(fā)布的實(shí)用新型授權(quán)公告中獲悉：該實(shí)用新型的專利申請?zhí)?專利號為：202390000294.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01J37/32；該實(shí)用新型一種等離子體系統(tǒng)及使用該系統(tǒng)的等離子體陣列系統(tǒng)是由C·霍夫施泰特爾設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2023-04-06向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種等離子體系統(tǒng)及使用該系統(tǒng)的等離子體陣列系統(tǒng)在說明書摘要公布了：本申請?zhí)峁┝艘环N等離子體系統(tǒng)級使用該系統(tǒng)的等離子體陣列系統(tǒng)，其包括至少兩個(gè)電源模塊、匹配網(wǎng)絡(luò)模塊、等離子體處理室、數(shù)據(jù)處理和控制模塊；電源模塊用于生成第一電源信號；電源模塊均與匹配網(wǎng)絡(luò)模塊電連接，并輸送至少一個(gè)所述第一電源信號到適應(yīng)網(wǎng)絡(luò)模塊中；電源模塊均與等離子體處理室電連接，用于向等離子體處理室輸出電能和或電信號；數(shù)據(jù)處理和控制模塊與電源單元、匹配網(wǎng)絡(luò)模塊、等離子體處理室均電連接。通過本系統(tǒng)的實(shí)施，可以在數(shù)據(jù)的幫助下調(diào)整電源的參數(shù)，以使得濺射工藝的產(chǎn)品和工藝質(zhì)量通過防止缺陷例如開裂的效果改善來提高最終產(chǎn)品和實(shí)施的質(zhì)量。

本實(shí)用新型一種等離子體系統(tǒng)及使用該系統(tǒng)的等離子體陣列系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種等離子體系統(tǒng)，其特征在于：包括至少兩個(gè)電源模塊110、匹配網(wǎng)絡(luò)模塊120、等離子體處理室130、數(shù)據(jù)處理和控制模塊145； 所述電源模塊110用于生成第一電源信號123； 所述電源模塊110均與所述匹配網(wǎng)絡(luò)模塊120電連接，并輸送至少一個(gè)所述第一電源信號123到所述匹配網(wǎng)絡(luò)模塊120中； 所述電源模塊110均與所述等離子體處理室130電連接，用于向等離子體處理室輸出電能和或電信號； 所述數(shù)據(jù)處理和控制模塊145與電源單元110、匹配網(wǎng)絡(luò)模塊 120、等離子體處理室130均電連接； 數(shù)據(jù)處理和控制模塊145用于從電源單元110、匹配網(wǎng)絡(luò)模塊 120、等離子體處理室130的至少兩個(gè)模塊中以功率信號和或過程變量和或狀態(tài)變量的參數(shù)形式采集與等離子體過程相關(guān)的數(shù)據(jù)，并對該數(shù)據(jù)進(jìn)行分析處理，根據(jù)處理結(jié)果調(diào)整電源單元110、匹配網(wǎng)絡(luò)模塊120、等離子體處理室130至少兩個(gè)的參數(shù)。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人通快許廷格兩合公司，其通訊地址為：德國弗賴堡；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。