睿勵科學儀器(上海)有限公司韓景珊獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉睿勵科學儀器(上海)有限公司申請的專利光譜橢偏測量方法、系統及存儲介質獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116297227B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202310325048.9，技術領域涉及：G01N21/21；該發明授權光譜橢偏測量方法、系統及存儲介質是由韓景珊;王瑜;楊峰;呂彤欣設計研發完成，并于2023-03-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本光譜橢偏測量方法、系統及存儲介質在說明書摘要公布了：本發明提供一種光譜橢偏測量方法、系統及存儲介質。所述方法包括以下步驟：獲取多組基于不同入射角度照射待測樣品，并經由所述待測樣品反射采集的實測光譜數據；將各組所述實測光譜數據代入預先建立的理論光譜模型，以分別確定基于各所述入射角度的實測橢偏函數值；改變所述理論光譜模型的膜層厚度參數，以分別獲得對應各所述入射角度及多種候選膜層厚度的理論橢偏函數值；將關于各所述入射角度的理論橢偏函數值，分別與對應的實測橢偏函數值進行對比及誤差分析，以確定光譜擬合誤差；以及根據所述光譜擬合誤差，確定所述待測樣品表面的薄膜信息。
本發明授權光譜橢偏測量方法、系統及存儲介質在權利要求書中公布了：1.一種光譜橢偏測量方法，其特征在于，包括以下步驟： 獲取多組基于不同入射角度照射待測樣品，并經由所述待測樣品反射采集的實測光譜數據； 根據各組所述實測光譜數據，確定關于各所述入射角度的實測橢偏參數； 將各組所述實測橢偏參數代入預先建立的理論光譜模型，以分別確定基于各所述入射角度的實測橢偏函數值，其中，所述理論光譜模型被表示為： 其中，、、、是光譜數據中的橢偏變量，和為各入射角序 號i的理論光譜模型中，理論橢偏函數值關于膜層厚度參數thickness的關系函數； 改變所述理論光譜模型的膜層厚度參數，以分別獲得對應各所述入射角度及多種候選膜層厚度的理論橢偏函數值； 根據所述待測樣品表面的薄膜材料，確定其對應的布儒斯特角，并據此確定對應各所述入射角度的光譜權重； 根據所述光譜權重，以及各所述入射角度的理論橢偏函數值及其對應的實測橢偏函數值，確定光譜擬合誤差；以及 根據所述光譜擬合誤差，確定所述待測樣品表面的薄膜信息，其中，所述薄膜信息包括膜層厚度。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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