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龍圖騰網獲悉盛吉盛(寧波)半導體科技有限公司申請的專利一種半導體設備用線圈夾緊裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116344314B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202310312599.1，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權一種半導體設備用線圈夾緊裝置是由趙云超;吳迪;李偉陽設計研發完成，并于2023-03-28向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種半導體設備用線圈夾緊裝置在說明書摘要公布了：本發明提供一種半導體設備用線圈夾緊裝置，其屬于半導體設備技術領域，半導體設備的底板上設置有圓柱件，圓柱件外設置有線圈，線圈環繞圓柱件后兩端相交叉，其中一端固定連接有第一固定塊，另一端固定連接有第二固定塊，第一固定塊和第二固定塊分別與底板滑動連接；第一固定塊和第二固定塊相對的兩側面為不平行的平滑平面，在該兩側面之間貼合地設置有形狀相匹配的夾緊塊，夾緊塊通過彈性復位機構與底板相連接。本發明可有效解決線圈夾緊問題，即使線圈的長度由于溫度有所變化，也能通過彈簧彈力自動調節，使線圈始終緊貼圓柱件，保證傳熱效率和加熱效果，有助于提高設備工作效率。

本發明授權一種半導體設備用線圈夾緊裝置在權利要求書中公布了：1.一種半導體設備用線圈夾緊裝置，所述半導體設備的底板（1）上設置有圓柱件（2），所述圓柱件（2）外設置有線圈（3），其特征在于，所述線圈（3）環繞所述圓柱件（2）后兩端相交叉，其中一端固定連接有第一固定塊（4），另一端固定連接有第二固定塊（5），所述第一固定塊（4）和所述第二固定塊（5）分別與所述底板（1）滑動連接；所述第一固定塊（4）和所述第二固定塊（5）相對的兩側面為不平行的平滑平面，在該兩側面之間貼合地設置有形狀相匹配的夾緊塊（6），所述夾緊塊（6）通過彈性復位機構與所述底板（1）相連接； 所述彈性復位機構包括有固定座（7），所述固定座（7）位于所述夾緊塊（6）背離所述圓柱件（2）的一側，所述固定座（7）與所述底板（1）固定連接；所述固定座（7）上開設有連接通孔（8），所述連接通孔（8）中穿入有夾緊螺栓（9）；所述夾緊塊（6）在背離所述圓柱件（2）的一側開設有螺孔；所述夾緊螺栓（9）靠近所述圓柱件（2）的一端與所述夾緊塊（6）的所述螺孔螺紋連接，所述夾緊螺栓（9）的另一端為螺栓頭部（10），在所述螺栓頭部（10）與所述固定座（7）之間設置有彈簧（11）。

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