西安交通大學潘毅獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉西安交通大學申請的專利一種超高真空樣品臺與集成式低溫輸運測量臺獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN116359567B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202310301684.8,技術領域涉及:G01R1/067;該發明授權一種超高真空樣品臺與集成式低溫輸運測量臺是由潘毅;張又麒;馮堯設計研發完成,并于2023-03-24向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種超高真空樣品臺與集成式低溫輸運測量臺在說明書摘要公布了:本發明公開了一種超高真空樣品臺與集成式低溫輸運測量臺,包括適配真空旗形樣品托傳樣的樣品測量臺、用于多端口電學測量的柔性微探針、防止超量驅動的進針凸輪機構;還包括用于一體集成的超高真空四通,密封連接有輸出電信號的真空電連接機構、提供扭矩的探針驅動機構、真空外冷源和超高真空多維位移臺輸出端。本發明具有不遮擋樣品核心區域、易對接超高真空系統并且適配多維位移的特點,可在真空原位實現探針與樣品幾乎無損、穩定的電連接,同時有效支持多場與多維度的協同調控。
本發明授權一種超高真空樣品臺與集成式低溫輸運測量臺在權利要求書中公布了:1.一種超高真空樣品臺,其特征在于,包括樣品測量臺(6)和探針平臺(606); 探針平臺(606)設置在樣品測量臺(6)前端一側的上方,樣品測量臺(6)前端另一側設置有樣品(8); 探針平臺(606)底部采用多個帶肩限位軸(609)穿過樣品測量臺(6),帶肩限位軸(609)與樣品測量臺(6)滑動連接,帶肩限位軸(609)的軸肩位于樣品測量臺(6)下方,軸肩與樣品測量臺(6)底部之間設置有彈性部件,彈性部件始終給予探針平臺(606)與樣品測量臺(6)相互靠近的力; 樣品測量臺(6)位于探針平臺(606)中心正下方的區域中空設置,樣品測量臺(6)中空部位的兩個側壁之間轉動連通有轉軸(603),轉軸(603)上設置有凸輪機構,凸輪機構與探針平臺(606)底部中心接觸; 探針平臺(606)設置有電路板(612),電路板(612)上設置有多根柔性微探針(613),柔性微探針(613)的針尖部位從探針平臺(606)伸出,向下方樣品(8)頂面延伸;當探針平臺(606)位于最低點時,柔性微探針(613)的針尖部位與樣品(8)頂部接觸; 凸輪機構包括頂板(605),頂板(605)靠近側面區域嵌套在轉軸(603)上,且該側面為弧面;探針平臺(606)底部中心連接有圓輪(608),頂板(605)頂面與圓輪(608)周面底部接觸; 探針平臺(606)底部中心設置有凸塊,凸塊底部連接有圓輪軸(607),圓輪軸(607)上轉動連接有圓輪(608),圓輪(608)周面底部與頂板(605)頂面接觸。
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