珠海邁時光電科技有限公司熊欣獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉珠海邁時光電科技有限公司申請的專利一種消除白光干涉儀在檢測過程中累積歐拉角影響的方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN116465326B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202310223777.3,技術領域涉及:G01B11/24;該發明授權一種消除白光干涉儀在檢測過程中累積歐拉角影響的方法是由熊欣;張為國;詹永漢;鄧曉洲;劉文明;杜春雷設計研發完成,并于2023-03-09向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種消除白光干涉儀在檢測過程中累積歐拉角影響的方法在說明書摘要公布了:本發明公開了一種消除白光干涉儀在檢測過程中累積歐拉角影響的方法,涉及超精密加工檢測技術領域。該方法包括:采集微結構樣品3D表面的點云數據;分析點云數據的特征確定其3D面型;根據3D面型確定其立體結構模型,選用分析法計算點云數據與X,Y,Z三軸的偏轉歐拉角;對偏轉歐拉角取反,將點云數據空間旋轉回與坐標面平行或對齊的數據。本發明結合白光干涉儀的自動聚焦功能,能夠更精準地定位特征位置,采集到完整有效的點云數據;消除了每次采集過程中的誤差影響;消除了硬件系統在長期運行過程中帶來的微小變化,為長時間運行自動測量提供穩定可靠的測試結果;顯著提高了自動測量檢測數據的可靠性,降低了人工測量和校準的成本。
本發明授權一種消除白光干涉儀在檢測過程中累積歐拉角影響的方法在權利要求書中公布了:1.一種消除白光干涉儀在檢測過程中累積歐拉角影響的方法,其特征在于:包括如下步驟: 采集微結構樣品3D表面的點云數據; 分析所述點云數據的特征,根據所述特征確定所述點云數據的3D面型; 根據所述3D面型確定其立體結構模型,選用分析法計算所述點云數據與X,Y,Z三軸的偏轉歐拉角α、β、γ; 根據所述偏轉歐拉角α、β、γ計算繞所述X,Y,Z三軸旋轉的旋轉矩陣,具體為: 將所述偏轉歐拉角α、β、γ取負,求得所述旋轉矩陣為: ; 將所述點云數據與所述旋轉矩陣相乘,得到與所述X,Y,Z三軸平行或對齊的新點云數據。
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