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龍圖騰網(wǎng)獲悉應(yīng)用材料以色列公司申請(qǐng)的專利基于關(guān)注區(qū)域的缺陷檢測(cè)獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN116631886B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202310032591.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/66；該發(fā)明授權(quán)基于關(guān)注區(qū)域的缺陷檢測(cè)是由S·考特卡爾;S·勞特;S·K·伊賽提;N·M·S·錢丹設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2023-01-10向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本基于關(guān)注區(qū)域的缺陷檢測(cè)在說明書摘要公布了：提供了輔助半導(dǎo)體樣品上的缺陷檢測(cè)的系統(tǒng)和方法。所述方法包括：獲得提供管芯上的要檢查的多個(gè)關(guān)注區(qū)域CA的信息的第一圖；創(chuàng)建包圍多個(gè)CA的多個(gè)邊界矩形BR；以及將多個(gè)BR壓縮為壓縮矩形集合以滿足預(yù)定義的檢查容量，同時(shí)嘗試最小化由壓縮矩形集合包圍的非CA區(qū)域，從而產(chǎn)生提供壓縮矩形集合的信息的第二圖。所述壓縮包括構(gòu)造表示多個(gè)BR和壓縮矩形的R樹結(jié)構(gòu)，并且基于預(yù)定義的檢查容量從R樹結(jié)構(gòu)中選擇節(jié)點(diǎn)集合，所述節(jié)點(diǎn)集合表示壓縮矩形集合。所述第二圖可用于過濾指示管芯上的缺陷候選分布的缺陷圖。

本發(fā)明授權(quán)基于關(guān)注區(qū)域的缺陷檢測(cè)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種輔助半導(dǎo)體樣品上的缺陷檢測(cè)的計(jì)算機(jī)化系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括處理和存儲(chǔ)器電路系統(tǒng)PMC，所述PMC被配置成： 獲得提供所述半導(dǎo)體樣品的管芯上的要檢查的多個(gè)關(guān)注區(qū)域CA的信息的第一圖； 創(chuàng)建包圍所述多個(gè)CA的多個(gè)邊界矩形BR；以及 將所述多個(gè)BR壓縮為壓縮矩形集合以滿足預(yù)定義的檢查容量，同時(shí)嘗試最小化由所述壓縮矩形集合包圍的非CA區(qū)域，從而產(chǎn)生提供所述壓縮矩形集合的信息的第二圖，其中所述壓縮包括： 構(gòu)造包括底層和一個(gè)或多個(gè)上層的R樹結(jié)構(gòu)，所述底層包括表示所述多個(gè)BR的多個(gè)葉節(jié)點(diǎn)，所述一個(gè)或多個(gè)上層中的每一層包括一個(gè)或多個(gè)非葉節(jié)點(diǎn)，每個(gè)給定的非葉節(jié)點(diǎn)表示包圍由所述給定非葉節(jié)點(diǎn)的一個(gè)或多個(gè)子節(jié)點(diǎn)表示的一個(gè)或多個(gè)矩形的壓縮矩形；以及 基于所述預(yù)定義的檢查容量從所述R樹結(jié)構(gòu)的所述葉節(jié)點(diǎn)和所述非葉節(jié)點(diǎn)中選擇節(jié)點(diǎn)集合，所述節(jié)點(diǎn)集合表示所述壓縮矩形集合； 其中，所述第二圖可用于過濾指示所述管芯上的缺陷候選分布的缺陷圖。

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