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龍圖騰網獲悉深圳光迪科技有限公司申請的專利一種曝光參數快速整定方法、系統及數字曝光機獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115793408B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211516147.7，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權一種曝光參數快速整定方法、系統及數字曝光機是由周朝陽設計研發完成，并于2022-11-30向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種曝光參數快速整定方法、系統及數字曝光機在說明書摘要公布了：本發明公開了一種曝光參數快速整定方法、系統及數字曝光機，方法包括：控制數字曝光機的曝光頭投射圖案處于靜態全投射狀態；以給定的初始曝光頭光功率、初始曝光靜態掃描速度對曝光頭投射圖案進行曝光尺標定曝光；根據曝光尺的標定曝光結果調節曝光靜態掃描速度以獲取滿足曝光尺標定要求的曝光頭光功率、曝光靜態掃描速度；根據曝光頭光功率、曝光靜態掃描速度，計算動態曝光下曝光頭光功率對應的曝光持續時間以及曝光靜態掃描速度，以及計算曝光頭動態曝光下曝光靜態掃描速度對應的曝光持續時間以及曝光頭光功率。本方案通過獲取靜態全投射狀態下滿足曝光尺標定要求的曝光頭光功率、曝光靜態掃描速度，可以在感光膜曝光能量或曝光機激光器功率存在偏差的情況下使曝光頭光功率、曝光持續時間、最大掃描速度得到快速準確整定。

本發明授權一種曝光參數快速整定方法、系統及數字曝光機在權利要求書中公布了：1.一種曝光參數快速整定方法，其特征在于，包括以下步驟： 控制數字曝光機的曝光頭投射圖案處于靜態全投射狀態； 曝光頭以給定的初始曝光頭光功率P1、初始曝光靜態掃描速度V1對所述曝光頭投射圖案進行曝光尺標定曝光； 根據所述曝光尺的標定曝光結果調節曝光靜態掃描速度以獲取滿足曝光尺標定要求的曝光頭光功率P1、曝光靜態掃描速度V11； 根據所述曝光頭光功率P1、曝光靜態掃描速度V11，計算動態曝光下曝光頭光功率P2對應的動態掃描曝光持續時間T2和最大掃描速度V2，以及計算曝光頭動態曝光下最大掃描速度V2對應的曝光持續時間T2和曝光頭光功率P2，從而獲取整定的動態曝光參數； 所述根據所述曝光頭光功率P1、曝光靜態掃描速度V11，計算動態曝光下曝光頭光功率P2對應的動態掃描曝光持續時間T2和最大掃描速度V2，以及計算曝光頭動態曝光下最大掃描速度V2對應的曝光持續時間T2和曝光頭光功率P2，采用以下公式： T2=（P1×H）（P2×V11×N）； V2=Ds（T2+Tf）； 其中，H為所述曝光頭投射圖案的高度，N為曝光材料在動態掃描模式下單位面積的重復曝光次數，Ds為曝光間隔距離，Tf為曝光圖案單元的刷新死時間，所述曝光圖案單元為數字微鏡陣列的微反射鏡。

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