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龍圖騰網(wǎng)獲悉浙江科技學(xué)院申請的專利一種利用改進(jìn)Golomb等長編碼算法的高效多臺階光刻方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN115793402B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202211361619.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F7/20；該發(fā)明授權(quán)一種利用改進(jìn)Golomb等長編碼算法的高效多臺階光刻方法是由黃喆;王輝;周尚營;王恒巖設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-11-02向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種利用改進(jìn)Golomb等長編碼算法的高效多臺階光刻方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種利用改進(jìn)Golomb等長編碼算法的高效多臺階光刻方法，包括以下步驟：步驟1、根據(jù)光刻實(shí)驗(yàn)條件的最小曝光強(qiáng)度和可輸出的最大曝光強(qiáng)度獲取光刻實(shí)驗(yàn)條件m值；步驟2、根據(jù)m值對代表臺階深度的灰度圖灰度值進(jìn)行Golomb相除轉(zhuǎn)碼，得到第一段等長編碼；步驟3、將m值和灰度圖灰度值利用Golomb壓縮編碼規(guī)則計(jì)算，得到第二段等長編碼；步驟4、將第一段編碼和第二段編碼進(jìn)行拼接，得到Golomb編碼；步驟5、把Golomb編碼進(jìn)行二進(jìn)制橫向切圖，得到比特平面二值圖；步驟6、對包含第一段編碼的二值圖用m倍曝光強(qiáng)度依次曝光，對包含第二段編碼的二值圖使用鄰近二倍增大的曝光強(qiáng)度進(jìn)行曝光。本發(fā)明可以減少曝光次數(shù)得到更多臺階數(shù)，提高了工作效率。

本發(fā)明授權(quán)一種利用改進(jìn)Golomb等長編碼算法的高效多臺階光刻方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種利用改進(jìn)Golomb等長編碼算法的高效多臺階光刻方法，其特征在于：包括以下步驟： 步驟1、根據(jù)光刻實(shí)驗(yàn)條件最淺臺階所需的最小曝光強(qiáng)度和光刻機(jī)可輸出的最大曝光強(qiáng)度獲取當(dāng)前光刻實(shí)驗(yàn)條件下可輸出的有效最大曝光強(qiáng)度的倍數(shù)，該倍數(shù)以m值表示； 步驟2、根據(jù)m值對代表臺階深度的灰度圖各像素灰度值進(jìn)行Golomb相除轉(zhuǎn)碼，得到第一段等長編碼； 步驟3、將m值和灰度圖灰度值經(jīng)過步驟2所得余數(shù)利用改進(jìn)Golomb壓縮編碼規(guī)則計(jì)算，得到第二段等長編碼； 步驟4、根據(jù)灰度圖灰度值將對應(yīng)位置上的第一段編碼和第二段編碼進(jìn)行拼接，得到一組和灰度圖灰度值對應(yīng)的Golomb編碼； 步驟5、把步驟4得到的Golomb編碼進(jìn)行二進(jìn)制橫向比特平面切圖，得對應(yīng)二進(jìn)制位次的二值圖； 步驟6、對含第一段編碼的比特平面二值圖用相等的m倍曝光強(qiáng)度依次曝光，對含第二段編碼的比特平面二值圖使用鄰近2的幾何級數(shù)倍率逐級增大的曝光強(qiáng)度進(jìn)行曝光； 所述改進(jìn)Golomb壓縮編碼規(guī)則的公式如下： c＝m-2k； r＝fx，ymodm； 式中：表示取小于等于計(jì)算數(shù)值的最大整數(shù)；k為第二段編碼截取參數(shù)；c表示截取調(diào)節(jié)參數(shù)；fx，ymodm表示fx，y被m除的余數(shù)，fx，y代表臺階深度的灰度圖x,y位置灰度值，r為第二段編碼二進(jìn)制數(shù)值； r′＝轉(zhuǎn)為k+1位二進(jìn)制r； 式中的r′即為第二段等長編碼。

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