江西安芯美科技有限公司陸金發獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉江西安芯美科技有限公司申請的專利一種半導體晶圓點膠裝置及其點膠方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN116213191B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202211092407.2,技術領域涉及:B05C5/02;該發明授權一種半導體晶圓點膠裝置及其點膠方法是由陸金發設計研發完成,并于2022-09-08向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種半導體晶圓點膠裝置及其點膠方法在說明書摘要公布了:本發明公開了一種半導體晶圓點膠裝置,包括注射筒和針管,針管可拆卸地設置在注射筒上,還包括:傳送機構;若干個晶圓固定裝置,放置在傳送機構上;導向裝置,設置在傳送機構上用于對晶圓固定裝置導向;測高裝置,其包括兩側開口的箱體和接觸板,接觸板可滑動地設置在箱體上,接觸板呈折彎形,其底部至少一般端面為斜面,接觸板與晶圓接觸面上設置有防護墊;驅動裝置,設置在箱體上用于驅動注射筒上下運動;第一傳感器,設置在箱體上用于感應晶圓固定裝置;兩個第二傳感器,各設置在箱體和接觸板上用于感應注射筒;檢測裝置,用于檢測針管是否堵塞;時間繼電器;控制器。本發明中,能對不同大小的晶圓進行點膠,同時能對晶圓是否點膠自動檢測,無需人為檢測,效率高。
本發明授權一種半導體晶圓點膠裝置及其點膠方法在權利要求書中公布了:1.一種半導體晶圓點膠裝置,包括注射筒(10)和針管(2),所述針管(2)可拆卸地設置在所述注射筒(10)上,所述注射筒(10)上設置有擰蓋(101),所述擰蓋(101)上設置有進氣管(102),所述進氣管(102)上設置有電磁閥,其特征在于,還包括: 傳送機構(3); 若干個晶圓固定裝置(4),放置在所述傳送機構(3)上; 導向裝置(5),設置在所述傳送機構(3)上用于對所述晶圓固定裝置(4)導向; 測高裝置,其包括兩側開口的箱體(6)和接觸板(7),所述接觸板(7)可滑動地設置在所述箱體(6)上,所述接觸板(7)呈折彎形,其底部一端面為斜面,所述接觸板(7)與晶圓接觸面上設置有防護墊; 驅動裝置(8),設置在所述箱體(6)上用于驅動所述注射筒(10)上下運動; 第一傳感器(9),設置在所述箱體(6)上用于感應所述晶圓固定裝置(4); 兩個第二傳感器(11),各設置在所述箱體(6)和接觸板(7)上用于感應所述注射筒(10); 檢測裝置,用于檢測所述針管(2)是否堵塞,所述檢測裝置包括第二氣動驅動裝置(14)、發光件(15)、第三傳感器(16)、兩個導電件(17)和收集容器(18),所述第三傳感器(16)用于感應所述發光件(15)發光,兩個所述導電件(17)彼此間隔設置在所述收集容器(18)的開口處,所述第二氣動驅動裝置(14)用于驅動所述收集容器(18)來回移動; 時間繼電器(12); 控制器(13)。
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