朗姆研究公司德賴斯·狄克特斯獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉朗姆研究公司申請的專利用于預防高深寬比結構的粘滯和/或修補高深寬比結構的系統和方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN111279454B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201880068993.2，技術領域涉及：H01L21/02；該發明授權用于預防高深寬比結構的粘滯和/或修補高深寬比結構的系統和方法是由德賴斯·狄克特斯;羅大宇設計研發完成，并于2018-10-11向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于預防高深寬比結構的粘滯和/或修補高深寬比結構的系統和方法在說明書摘要公布了：一種用于處理被設置在襯底的表面上的高深寬比HAR結構的方法包含：a使用第一沖洗液對所述襯底的所述表面進行旋轉沖洗；b使所述第一沖洗液從所述襯底的所述表面旋轉出來；以及c在分配所述第一沖洗液之后，將含有氟化氫的氣體混合物導向所述襯底的所述表面上。
本發明授權用于預防高深寬比結構的粘滯和/或修補高深寬比結構的系統和方法在權利要求書中公布了：1.一種用于處理被設置在襯底的表面上的高深寬比結構的方法，所述方法包含： a使用第一沖洗液對所述襯底的所述表面進行旋轉沖洗； b使所述第一沖洗液從所述襯底的所述表面旋轉出來；以及 c在分配所述第一沖洗液之后，將含有氟化氫的氣體混合物導向所述襯底的所述表面上，從而消除作用在所述高深寬比結構上的范德華力、氫鍵和共價氧化物橋連中的至少一者的粘滯力，并修復所述高深寬比結構的塌陷， 其中，a、b以及c是當所述襯底在單一室中維持于從900hPa至1100hPa的范圍內的預定壓強時執行 并且，在c中，當處理溫度超過100℃時向含有氟化氫的所述氣體混合物中加入氨以抑制氟化銨的形成。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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