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龍圖騰網(wǎng)獲悉北京爍科精微電子裝備有限公司申請的專利一種基于聲波的拋光頭的監(jiān)測方法及監(jiān)測系統(tǒng)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN114910557B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202210523889.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01N29/04；該發(fā)明授權(quán)一種基于聲波的拋光頭的監(jiān)測方法及監(jiān)測系統(tǒng)是由吳燕林;周慶亞;田洪濤;張康;李嘉浪設(shè)計研發(fā)完成，并于2022-05-13向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種基于聲波的拋光頭的監(jiān)測方法及監(jiān)測系統(tǒng)在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種基于聲波的拋光頭的監(jiān)測方法及監(jiān)測系統(tǒng)，監(jiān)測方法包括：在測試保持環(huán)圍繞測試保持環(huán)的中心軸旋轉(zhuǎn)的過程中，采用聲波傳輸液發(fā)射單元噴射聲波傳輸液，聲波傳輸液發(fā)射單元和測試保持環(huán)之間形成第一液柱；同時，采用聲波發(fā)射單元通過第一液柱對測試保持環(huán)發(fā)射第一檢測聲波；采用聲波接收單元接收測試保持環(huán)對第一檢測聲波反射后第一反饋聲波；根據(jù)第一檢測聲波和第一反饋聲波的波形分布獲取第一溝槽以及第一溝槽之間的測試保持環(huán)的研磨面的測試表面形貌；采用形貌分析單元獲取測試表面形貌的缺陷信息。通過上述的監(jiān)測方法，可以實時監(jiān)測保持環(huán)的質(zhì)量，避免由于拋光頭的質(zhì)量問題導(dǎo)致的產(chǎn)品良率下降。

本發(fā)明授權(quán)一種基于聲波的拋光頭的監(jiān)測方法及監(jiān)測系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種基于聲波的拋光頭的監(jiān)測方法，其特征在于，包括： 提供標(biāo)定拋光頭，所述標(biāo)定拋光頭包括標(biāo)定保持環(huán)，所述標(biāo)定保持環(huán)的研磨面一側(cè)設(shè)置有若干第二溝槽； 在標(biāo)定保持環(huán)圍繞標(biāo)定保持環(huán)的中心軸旋轉(zhuǎn)的過程中，采用聲波傳輸液發(fā)射單元對相鄰第二溝槽之間的標(biāo)定保持環(huán)的研磨面以及所述第二溝槽中噴射聲波傳輸液，所述聲波傳輸液發(fā)射單元和所述標(biāo)定保持環(huán)之間形成第二液柱； 在采用聲波傳輸液發(fā)射單元對相鄰第二溝槽之間的標(biāo)定保持環(huán)的研磨面以及所述第二溝槽中噴射聲波傳輸液的過程中，采用聲波發(fā)射單元通過所述第二液柱對所述標(biāo)定保持環(huán)發(fā)射第二檢測聲波； 采用聲波接收單元接收所述標(biāo)定保持環(huán)對所述第二檢測聲波反射后沿第二液柱傳輸?shù)牡诙答伮暡ǎ?根據(jù)所述第二檢測聲波和第二反饋聲波的波形分布獲取第二溝槽以及第二溝槽之間的標(biāo)定保持環(huán)的研磨面的標(biāo)定表面形貌； 提供測試拋光頭，所述測試拋光頭包括測試保持環(huán)，所述測試保持環(huán)的研磨面一側(cè)設(shè)置有若干第一溝槽； 在測試保持環(huán)圍繞測試保持環(huán)的中心軸旋轉(zhuǎn)的過程中，采用聲波傳輸液發(fā)射單元對相鄰第一溝槽之間的測試保持環(huán)的研磨面以及所述第一溝槽中噴射聲波傳輸液，所述聲波傳輸液發(fā)射單元和所述測試保持環(huán)之間形成第一液柱； 在采用聲波傳輸液發(fā)射單元對相鄰第一溝槽之間的測試保持環(huán)的研磨面以及所述第一溝槽中噴射聲波傳輸液的過程中，采用聲波發(fā)射單元通過所述第一液柱對所述測試保持環(huán)發(fā)射第一檢測聲波； 采用聲波接收單元接收所述測試保持環(huán)對所述第一檢測聲波反射后沿第一液柱傳輸?shù)牡谝环答伮暡ǎ?根據(jù)所述第一檢測聲波和第一反饋聲波的波形分布獲取第一溝槽以及第一溝槽之間的測試保持環(huán)的研磨面的測試表面形貌； 采用形貌分析單元獲取測試表面形貌的缺陷信息；其中，采用形貌分析單元獲取測試表面形貌的缺陷信息的步驟包括：分析單元根據(jù)測試表面形貌和標(biāo)定表面形貌之間的差異獲取測試表面形貌的缺陷信息； 其中，聲波發(fā)射單元、聲波接收單元和聲波傳輸液發(fā)射單元構(gòu)成聲學(xué)測試模塊；在測試保持環(huán)圍繞測試保持環(huán)的中心軸旋轉(zhuǎn)的過程中，沿著測試保持環(huán)的徑向分布若干個聲學(xué)測試模塊。

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