江西兆馳半導體有限公司胡加輝獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉江西兆馳半導體有限公司申請的專利一種外延片、外延片生長方法及高電子遷移率晶體管獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114551593B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210049690.4,技術領域涉及:H10D30/47;該發明授權一種外延片、外延片生長方法及高電子遷移率晶體管是由胡加輝;劉春楊;金從龍;顧偉設計研發完成,并于2022-01-17向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種外延片、外延片生長方法及高電子遷移率晶體管在說明書摘要公布了:本發明提供一種外延片、外延片生長方法及高電子遷移率晶體管,該外延片包括依次層疊設置的Si襯底,AlN成核層,高阻緩沖層,GaN溝道層,AlN插入層,AlGaN勢壘層及GaN蓋帽層,所述高阻緩沖層包括依次層疊設置的第一碳摻雜AlGaN層、第二碳摻雜AlGaN層以及第三碳摻雜AlGaN層,所述第一碳摻雜AlGaN層設置在靠近所述AlN成核層的一側;其中,所述第一碳摻雜AlGaN層的摻雜濃度由高到低均勻漸變,所述第二碳摻雜AlGaN層的摻雜濃度恒定不變,所述第三碳摻雜AlGaN層的摻雜濃度由低到高均勻漸變。與現有技術相比,本發明提出的外延片既能實現高阻又具有很高的晶體質量。
本發明授權一種外延片、外延片生長方法及高電子遷移率晶體管在權利要求書中公布了:1.一種外延片,其特征在于,包括依次層疊設置的Si襯底,AlN成核層,高阻緩沖層,GaN溝道層,AlN插入層,AlGaN勢壘層及GaN蓋帽層,所述高阻緩沖層包括依次層疊設置的第一碳摻雜AlGaN層、第二碳摻雜AlGaN層以及第三碳摻雜AlGaN層,所述第一碳摻雜AlGaN層設置在靠近所述AlN成核層的一側; 其中,所述第一碳摻雜AlGaN層的摻雜濃度沿靠近Si襯底一側向遠離Si襯底一側由高到低均勻漸變,所述第二碳摻雜AlGaN層的摻雜濃度恒定不變,所述第三碳摻雜AlGaN層的摻雜濃度沿靠近Si襯底一側向遠離Si襯底一側由低到高均勻漸變。
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