ASM IP私人控股有限公司杉浦博次獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉ASM IP私人控股有限公司申請的專利形成含氮碳膜的方法和用于執行該方法的系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113529044B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110371233.2，技術領域涉及：C23C16/00；該發明授權形成含氮碳膜的方法和用于執行該方法的系統是由杉浦博次;菊地良幸設計研發完成，并于2021-04-07向國家知識產權局提交的專利申請。
本形成含氮碳膜的方法和用于執行該方法的系統在說明書摘要公布了：公開了用于形成含氮碳膜的方法和系統以及使用所述方法或系統形成的結構。示例性的方法包括提供具有碳封端碳?氮鍵的前體。所述方法可還包括向反應室提供反應物。
本發明授權形成含氮碳膜的方法和用于執行該方法的系統在權利要求書中公布了：1.一種通過循環沉積工藝形成含氮碳膜的方法，所述方法包括以下步驟： 向反應室提供前體，其中所述前體的化學式包含： 具有包含C、H、O和N的環狀結構的環狀化合物，其中，所述環狀化合物包括一個或多個碳封端的碳-氮鍵，其中所述環狀化合物包含環狀骨架，所述環狀骨架由C、O和N中的一者或多者組成；以及 使用所述前體在基板的表面上形成含氮膜。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人ASM IP私人控股有限公司，其通訊地址為：荷蘭阿爾梅勒；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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