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龍圖騰網獲悉卡爾蔡司MultiSEM有限責任公司申請的專利多光束數字掃描以及圖像獲取獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115053320B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202180012557.5，技術領域涉及：H01J37/28；該發明授權多光束數字掃描以及圖像獲取是由N.考夫曼;A.阿道夫;V.維喬雷克;C.里德塞爾;N.卡默;S.舒伯特設計研發完成，并于2021-02-01向國家知識產權局提交的專利申請。

本多光束數字掃描以及圖像獲取在說明書摘要公布了：一種多光束帶電粒子顯微鏡和一種操作多光束帶電粒子顯微鏡以進行晶片檢驗的方法，其具有高產量、高分辨率和高可靠性。該操作方法和該多光束帶電粒子束顯微鏡包含用于根據一選定掃描程序，通過多個帶電粒子小射束進行同步掃描操作和圖像獲取的裝置，其中可根據來自不同掃描程序的檢驗任務，選擇該選定掃描程序。

本發明授權多光束數字掃描以及圖像獲取在權利要求書中公布了：1.一種多光束掃描和圖像獲取方法707，用于控制在多個J圖像子場上的多個J初級帶電粒子小射束3的集體掃描，并利用多光束帶電粒子顯微鏡1獲取與多個J圖像子場相對應的多個J數字圖像數據，所述方法包含： -配置步驟710，用于提供多個掃描程序并用于選擇一選定掃描程序762； -通用掃描處理步驟720，在該步驟中，接收該選定掃描程序762，并從該選定掃描程序762中產生至少第一序列的預補償數字掃描命令766和選擇控制信號744； -特定掃描偏轉控制步驟730，在該步驟中，從該預補償數字掃描命令766的至少第一序列中產生至少第一放大序列的驅動電壓774，并且在該步驟中，將至少第一放大序列的驅動電壓774提供給集體偏轉步驟742，該集體偏轉步驟742用于在樣品7的表面25上的所述多個J圖像子場上方使多個J初級帶電粒子小射束3集體偏轉； -圖像數據獲取步驟750，包含在其期間從一圖像傳感器單元207收集J起伏電壓串流786的模擬數據收集步驟748，其中在該圖像數據獲取步驟750中，將所述J起伏電壓串流786轉換成J數字傳感器數據串流788，并且使用由該通用掃描處理步驟720所產生并提供的選擇控制信號744，從所述J數字傳感器數據串流788選擇J數字圖像數據值串流790，以及該J數字圖像數據值串流790被寫入至少一個并行存取存儲器1816中、在多個J存儲器位置61處，以形成與所述多個J圖像子場相對應的所述多個J數字圖像數據。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人卡爾蔡司MultiSEM有限責任公司，其通訊地址為：德國上科亨；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。