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龍圖騰網(wǎng)獲悉東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社申請的專利檢查系統(tǒng)以及檢查方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114365270B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號(hào)為：202080063818.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)檢查系統(tǒng)以及檢查方法是由小西顯太朗設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-09-07向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本檢查系統(tǒng)以及檢查方法在說明書摘要公布了：提供一種檢查系統(tǒng),具有:第一冷卻單元,其用于供給被控制為第一溫度的第一熱介質(zhì)；第二冷卻單元,其用于供給被控制為比上述第一溫度低的第二溫度的第二熱介質(zhì)；載置臺(tái),其設(shè)有流路,該流路被供給將上述第一熱介質(zhì)和上述第二熱介質(zhì)混合為期望的混合比的熱介質(zhì)；以及控制部,該檢查系統(tǒng)用于對載置于上述載置臺(tái)上的基板進(jìn)行檢查,上述控制部控制以下工序:測定工序,其對上述流路的入口處的上述熱介質(zhì)的溫度和上述流路的出口處的上述熱介質(zhì)的溫度進(jìn)行測定；以及校正工序,其基于上述入口處和出口處的上述熱介質(zhì)的溫度的差值以及上述熱介質(zhì)的流量,對上述第一熱介質(zhì)與上述第二熱介質(zhì)的上述混合比進(jìn)行校正。

本發(fā)明授權(quán)檢查系統(tǒng)以及檢查方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種檢查系統(tǒng),具有: 第一冷卻單元,其用于供給被控制為第一溫度的第一熱介質(zhì)； 第二冷卻單元,其用于供給被控制為比上述第一溫度低的第二溫度的第二熱介質(zhì)； 載置臺(tái),其設(shè)有流路,該流路被供給將上述第一熱介質(zhì)和上述第二熱介質(zhì)混合為期望的混合比的混合后熱介質(zhì)；以及 控制部, 該檢查系統(tǒng)用于對載置于上述載置臺(tái)上的基板進(jìn)行檢查, 上述控制部控制以下工序: 測定工序,其對上述流路的入口處的上述混合后熱介質(zhì)的溫度和上述流路的出口處的上述混合后熱介質(zhì)的溫度進(jìn)行測定； 計(jì)算工序,其基于上述流路的入口處和上述流路的出口處的上述混合后熱介質(zhì)的溫度的差值以及流經(jīng)上述流路的上述混合后熱介質(zhì)的流量,對上述基板的發(fā)熱量進(jìn)行計(jì)算；以及 校正工序，其基于上述發(fā)熱量，對上述第一熱介質(zhì)與上述第二熱介質(zhì)的上述混合比進(jìn)行校正，以對上述基板的溫度進(jìn)行調(diào)整， 上述控制部對測定上述流路的入口處的上述混合后熱介質(zhì)的壓力和上述流路的出口處的上述混合后熱介質(zhì)的壓力的工序進(jìn)行控制, 上述控制部根據(jù)上述流路的入口處和上述流路的出口處的上述混合后熱介質(zhì)的壓力的差值,求得上述混合后熱介質(zhì)的上述流量。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社，其通訊地址為：日本東京；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。