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龍圖騰網(wǎng)獲悉中芯集成電路(寧波)有限公司申請的專利薄膜體聲波諧振器及其制造方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN113938108B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202010674969.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H03H3/02；該發(fā)明授權(quán)薄膜體聲波諧振器及其制造方法是由黃河設(shè)計研發(fā)完成，并于2020-07-14向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本薄膜體聲波諧振器及其制造方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及一種薄膜體聲波諧振器及其制造方法，其中，薄膜體聲波諧振器包括：層疊的第一電極、壓電層和第二電極，有效諧振區(qū)包括所述第一電極、壓電層和第二電極在垂直于所述壓電層表面方向上相互重疊的區(qū)域，所述有效諧振區(qū)的外部為無效區(qū)；第一介質(zhì)層，所述第一介質(zhì)層的上表面與所述第一電極的下表面之間設(shè)有第一間隙；第二介質(zhì)層，所述第二介質(zhì)層的下表面與所述第二電極的上表面之間設(shè)有第二間隙；第一導(dǎo)電凸起，一端設(shè)置于所述第一電極的下表面，另一端連接有第一電極引出部；第二導(dǎo)電凸起，一端設(shè)置于所述第二電極的上表面，另一端連接有第二電極引出部。本發(fā)明能夠提高諧振器的品質(zhì)因數(shù)。

本發(fā)明授權(quán)薄膜體聲波諧振器及其制造方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種薄膜體聲波諧振器，其特征在于，包括： 層疊的第一電極、壓電層和第二電極，有效諧振區(qū)包括所述第一電極、壓電層和第二電極在垂直于所述壓電層表面方向上相互重疊的區(qū)域，所述有效諧振區(qū)的外部為無效區(qū)； 第一介質(zhì)層，所述第一介質(zhì)層的上表面與所述第一電極的下表面之間設(shè)有第一間隙； 第二介質(zhì)層，所述第二介質(zhì)層的下表面與所述第二電極的上表面之間設(shè)有第二間隙； 第一導(dǎo)電凸起，一端設(shè)置于所述第一電極的下表面，另一端連接有第一電極引出部； 第二導(dǎo)電凸起，一端設(shè)置于所述第二電極的上表面，另一端連接有第二電極引出部； 所述第一電極位于所述第一間隙的邊界圍成的區(qū)域內(nèi)，或者二者邊界重合； 和或， 所述第二電極位于所述第二間隙的邊界圍成的區(qū)域內(nèi)，或者二者邊界重合； 所述第一間隙和所述第二間隙通過分布于所述無效區(qū)的多個通孔連通； 或者，所述第一間隙、第二間隙通過包圍有效區(qū)的環(huán)形通孔連通； 所述壓電層包括諧振部和位于所述諧振部外周的搭接部，所述諧振部至少部分位于所述有效諧振區(qū)，所述搭接部位于所述有效諧振區(qū)外，所述諧振部與所述搭接部相接或分離； 所述搭接部和所述諧振部相互分離，所述第一間隙和所述第二間隙連通成空腔，所述諧振部的外周暴露在所述空腔中。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人中芯集成電路(寧波)有限公司，其通訊地址為：315800 浙江省寧波市北侖區(qū)小港街道安居路335號3幢、4幢、5幢；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。