卡爾蔡司SMT有限責任公司D.巴德獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉卡爾蔡司SMT有限責任公司申請的專利產生第一部件與第二部件之間的粘合接合的方法和裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114072731B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202080047597.9,技術領域涉及:G03F7/20;該發明授權產生第一部件與第二部件之間的粘合接合的方法和裝置是由D.巴德設計研發完成,并于2020-06-10向國家知識產權局提交的專利申請。
本產生第一部件與第二部件之間的粘合接合的方法和裝置在說明書摘要公布了:本發明涉及用于產生微光刻的第一部件與第二部件之間的粘合接合的方法和裝置,其中第二部件是光學元件。方法包括以下步驟:將第一部件和第二部件引入到定位裝置100中,其可以改變第一部件與第二部件之間的相對位置;校準第一相對位置,在第一相對位置,第一部件與第二部件之間的距離具有限定預定義粘合間隙的第一值;校準第二相對位置,在第二相對位置,第一部件與第二部件之間的距離具有大于所述第一值的第二值;在第一部件和第二部件彼此之間相距大于所述第一值的距離時將粘合劑26施加到第一部件;以及在第一部件與第二部件之間形成粘合接合時設置第一相對位置;其中,校準第一相對位置和校準第二相對位置兩者仍然在將粘合劑施加到第一部件之前實行。
本發明授權產生第一部件與第二部件之間的粘合接合的方法和裝置在權利要求書中公布了:1.一種用于產生微光刻的第一部件與第二部件之間的粘合接合的方法,其中,所述第二部件是光學元件,并且其中所述方法包括以下步驟: a將所述第一部件和所述第二部件引入到定位裝置100中,其能夠改變第一部件與第二部件之間的相對位置; b校準第一相對位置,在所述第一相對位置,第一部件與第二部件之間的距離具有限定預定義粘合間隙的第一值; c校準第二相對位置,在所述第二相對位置,第一部件與第二部件之間的距離具有大于所述第一值的第二值; d在第一部件和第二部件彼此之間相距大于所述第一值的距離時將粘合劑26施加到所述第一部件;以及 e在第一部件與第二部件之間形成所述粘合接合時設置所述第一相對位置; 其中,校準所述第一相對位置和校準所述第二相對位置兩者仍然在將所述粘合劑26施加到所述第一部件之前實行。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人卡爾蔡司SMT有限責任公司,其通訊地址為:德國上科亨;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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