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龍圖騰網獲悉北京爍科中科信電子裝備有限公司申請的專利一種用于估算分析縫處離子束流寬度的方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112670144B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201910980460.8，技術領域涉及：H01J37/30；該發明授權一種用于估算分析縫處離子束流寬度的方法是由蔡煬爍設計研發完成，并于2019-10-15向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種用于估算分析縫處離子束流寬度的方法在說明書摘要公布了：本發明揭示了一種用于估算分析縫處離子束流寬度的方法。本發明用于離子質量分析相關的領域，主要為半導體設備中離子注入機領域。質量分析器的分辨能力主要取決于，離子束在分析縫處的寬度和分析縫本身寬度。離子束本身的寬度不易直接測量，而分析縫寬度可以控制，且質量分析器的分辨率主要有兩個寬度中較寬的一個決定。本方法通過測量不同分析縫寬度時質量分析器的分辨率，可以得到由離子束束寬和分析縫縫寬決定的不同分辨率，進而可以估算分析縫處離子束本身的寬度。

本發明授權一種用于估算分析縫處離子束流寬度的方法在權利要求書中公布了：1.一種用于估算分析縫處離子束流寬度的方法，至少包含離子源、質量分析器、寬度可調的分析縫以及法拉第杯，其特征在于，包含以下步驟： 步驟一、將分析縫寬度設置為某固定寬度D1，計算此條件下，質量分析系統的分辨率R1； 步驟二、將分析縫寬度從寬度D1調整為D2，計算此條件下，質量分析系統的分辨率R2； 步驟三、將步驟二中的D2調整為D3、D4……Dn，分別計算其對應的分辨率R3、R4……Rn； 步驟四、定義αi為分析縫寬度Di與對應系統分辨率Ri的乘積，計算α1、α2……αn，其中，i=1、2……n； 步驟五、比較α1、α2……αn，選出較大且較為接近的幾個αi，求其平均值αA； 步驟六、比較α1、α2……αn，選出較低的幾個αi，與其對應的Ri，從中選出的Ri數值應較為接近，去除誤差較大的值后，求剩余Ri的平均值RA； 步驟七、計算比較αARA，即為分析縫處離子束流寬度的估值； 其中，分析縫寬度為Di時質量分析系統的分辨率Ri的計算公式為I3[2I5-I4]； I3為分析縫寬度為Di時檢測到的離子束流的最大值IMAX對應的質量分析器電流，I5為分析縫寬度為Di時檢測到的離子束流的最大值的一半IMAX2對應的較大質量分析器電流，I4為分析縫寬度為Di時檢測到的離子束流的最大值的一半IMAX2對應的較小質量分析器電流。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北京爍科中科信電子裝備有限公司，其通訊地址為：101111 北京市通州區光機電一體化產業基地興光二街6號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。