株式會社國際電氣島田寬哲獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉株式會社國際電氣申請的專利隔熱結構體、基板處理裝置、半導體裝置的制造方法、基板處理方法以及存儲介質獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114127897B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201980097936.1，技術領域涉及：H01L21/31；該發明授權隔熱結構體、基板處理裝置、半導體裝置的制造方法、基板處理方法以及存儲介質是由島田寬哲;谷山智志設計研發完成，并于2019-06-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本隔熱結構體、基板處理裝置、半導體裝置的制造方法、基板處理方法以及存儲介質在說明書摘要公布了：本發明提供一種提高處理室下部的隔熱性能，縮短處理室內的溫度穩定時間的技術。配置于熱處理爐的具有溫度梯度的爐口附近的隔熱結構體具備多個隔熱板，該隔熱板具有金屬制的隔熱材和覆蓋隔熱材的表背各面的石英或陶瓷制的密封部件，且在構成于上述密封部件的內部的真空的空洞配置有上述隔熱材，多個隔熱板分別相互隔開間隔地配置。
本發明授權隔熱結構體、基板處理裝置、半導體裝置的制造方法、基板處理方法以及存儲介質在權利要求書中公布了：1.一種隔熱結構體，其配置于熱處理爐的具有溫度梯度的爐口附近， 其特征在于， 具備多個隔熱板，該隔熱板具有金屬制的隔熱材和覆蓋上述隔熱材的表背各面的石英或陶瓷制的密封部件，且在構成于上述密封部件的內部的真空的空洞配置有上述隔熱材， 上述多個隔熱板分別相互隔開間隔地配置， 上述密封部件由一對密封板構成， 上述一對密封板在上述一對密封板的全周相互連接， 上述多個隔熱板的各個上述隔熱材具有使表背面之間連通的至少一個貫通孔，上述一對密封板在上述一對密封板的全周及上述貫通孔內相互連接。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人株式會社國際電氣，其通訊地址為：日本東京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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