細美事有限公司吳斗榮獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉細美事有限公司申請的專利基板處理設備及基板處理方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114678262B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210300801.4，技術領域涉及：H01L21/027；該發明授權基板處理設備及基板處理方法是由吳斗榮;李俊宰設計研發完成，并于2018-07-20向國家知識產權局提交的專利申請。
本基板處理設備及基板處理方法在說明書摘要公布了：公開了一種基板處理設備和基板處理方法。根據本發明構思的實施例，在將噴嘴臂從第一基板支承構件移動到第二基板支承構件的情況下執行吹掃噴嘴的吹掃操作，幾乎不影響在將噴嘴臂從第一基板支承構件移動到第二基板支承構件的情況下處理基板的操作。根據本發明構思的實施例，處理液供應單元執行向基板供應感光液的過程的情況下基板處理設備可執行吹掃感光液噴嘴的操作。因此，因為當基板處理設備執行過程的同時執行吹掃感光液噴嘴的操作，可提高生產率。
本發明授權基板處理設備及基板處理方法在權利要求書中公布了：1.一種使用基板處理設備的基板處理方法，所述基板處理設備包括： 第一基板支承構件，所述第一基板支承構件用于支承基板； 第二基板支承構件，所述第二基板支承構件用于支承基板； 噴嘴臂，所述噴嘴臂在所述第一基板支承構件與所述第二基板支承構件之間移動，并且所述噴嘴臂具有安裝在其上的多個噴嘴；以及 吹掃口，所述吹掃口定位在所述第一基板支承構件與所述第二基板支承構件之間移動的所述噴嘴臂的移動路徑中，并且 所述基板處理方法包括： 通過從所述多個噴嘴中的任一者向所述基板排出處理液來處理所述基板，所述基板由所述第一基板支承構件或所述第二基板支承構件支承；以及 通過從作為所述多個噴嘴之一的吹掃噴嘴向所述吹掃口排出所述處理液來執行吹掃操作，而在所述多個噴嘴之一向由所述第一基板支承構件支承的基板排出所述處理液之后，所述噴嘴臂被移動至所述第二基板支承構件； 其中，所述吹掃噴嘴是所述噴嘴中除了在所述噴嘴臂從第一基板支承構件移動至所述第二基板支承構件之后立即向由所述第二基板支承構件支承的所述基板排出所述處理液的噴嘴之外的噴嘴。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人細美事有限公司，其通訊地址為：韓國忠清南道天安市西北區稷山邑四產團五街77號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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