ASML荷蘭有限公司T·哈桑獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉ASML荷蘭有限公司申請的專利計算機程序產品和形貌確定方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114690591B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210458166.2，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權計算機程序產品和形貌確定方法是由T·哈桑;V·K·賈因;斯蒂芬·亨斯克;B·拉方丹設計研發完成，并于2017-11-28向國家知識產權局提交的專利申請。
本計算機程序產品和形貌確定方法在說明書摘要公布了：一種確定形貌的方法，該方法包括：獲得第一聚焦值，所述第一聚焦值從對未經圖案化的襯底的圖案化建模的計算光刻模型導出或從未經圖案化的襯底上的圖案化層的測量導出；獲得第二聚焦值，所述第二聚焦值從具有形貌的襯底的測量導出；和根據第一聚焦值和第二聚焦值確定所述形貌的值。
本發明授權計算機程序產品和形貌確定方法在權利要求書中公布了：1.一種計算機程序產品，包括其中具有指令的非暫時性計算機可讀介質，所述指令在由計算機系統執行時，被配置為引起計算機系統至少： 獲得聚焦的第一值或與聚焦有關的第一值，所述第一值從對未圖案化襯底的圖案化建模的計算光刻模型導出，或者從對未圖案化的襯底上的圖案化層的測量導出； 獲得聚焦的第二值或與聚焦有關的第二值，所述第二值從對具有形貌的襯底的測量導出；和 根據所述第一值和所述第二值確定所述形貌的值。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人ASML荷蘭有限公司，其通訊地址為：荷蘭維德霍溫；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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