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龍圖騰網(wǎng)獲悉無錫尚積半導(dǎo)體科技股份有限公司申請的專利具有充磁消磁功能的磁控組件及充磁消磁方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN120299856B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510757642.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01F13/00；該發(fā)明授權(quán)具有充磁消磁功能的磁控組件及充磁消磁方法是由張超;張陳斌;丁聰;宋永輝;王世寬設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-06-09向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本具有充磁消磁功能的磁控組件及充磁消磁方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提出了具有充磁消磁功能的磁控組件及充磁消磁方法，屬于半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域。磁控組件包括充磁消磁模組、固定板、設(shè)置在固定板內(nèi)的多個(gè)磁鐵，磁鐵頂部高于固定板上表面，底部與接電板形成電連接；充磁消磁模組包括第一氣缸、第一軌道、第二氣缸、第二軌道和充磁消磁頭，第一氣缸能夠沿第一軌道縱向移動(dòng)，第一氣缸伸縮端與充磁消磁頭連接；第二氣缸伸縮端與第二軌道連接，充磁消磁頭能夠沿第二軌道橫向移動(dòng)。本發(fā)明通過兩組氣缸、軌道配合充磁消磁頭的巧妙設(shè)置，使得磁控組件中各磁鐵均能夠獨(dú)立進(jìn)行充磁和消磁，能夠靈活改變磁控組件整體的磁鐵數(shù)量和分布，從而適應(yīng)多種試驗(yàn)場景，避免磁控組件的重復(fù)建模、制造，節(jié)省大量制造成本。

本發(fā)明授權(quán)具有充磁消磁功能的磁控組件及充磁消磁方法在權(quán)利要求書中公布了：1.具有充磁消磁功能的磁控組件，裝配在磁控濺射設(shè)備腔體內(nèi)安裝板上，其特征在于，包括充磁消磁模組、固定板、設(shè)置在固定板內(nèi)的多個(gè)磁鐵，所述磁鐵頂部高于固定板上表面，底部與接電板形成電連接；所述充磁消磁模組包括第一氣缸、第一軌道、第二氣缸、第二軌道和充磁消磁頭，所述第一軌道縱向安裝在腔體內(nèi)，第一氣缸設(shè)置在第一軌道上并能夠沿第一軌道縱向移動(dòng)，第一氣缸伸縮端與充磁消磁頭橫向連接；所述第二氣缸固定在安裝板上，伸縮端與第二軌道連接，第二軌道橫向設(shè)置，充磁消磁頭裝配在第二軌道內(nèi)，能夠沿第二軌道橫向移動(dòng)；充磁消磁頭具有用于容納磁鐵頂部的充磁消磁槽，充磁消磁槽內(nèi)設(shè)置有接電部和加熱元件。

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