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龍圖騰網獲悉長鑫新橋存儲技術有限公司申請的專利化學機械研磨裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120170632B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510661649.6，技術領域涉及：B24B37/10；該發明授權化學機械研磨裝置是由李樹林設計研發完成，并于2025-05-21向國家知識產權局提交的專利申請。

本化學機械研磨裝置在說明書摘要公布了：本公開提供了一種化學機械研磨裝置，涉及半導體加工技術領域。該裝置包括：研磨墊、研磨頭和傳動組件；其中，研磨墊固定在研磨臺的表面上，研磨臺用于帶動研磨墊進行旋轉運動；研磨頭用于夾持晶圓，研磨頭與研磨墊配合使用，以對晶圓進行研磨；傳動組件包括依次連接的第一傳動軸、活動連接部和第二傳動軸，第二傳動軸的一端與研磨頭遠離晶圓的一端連接，第二傳動軸的另一端通過活動連接部與第一傳動軸連接，以在晶圓的表面與研磨墊的表面之間產生夾角時，第二傳動軸能夠相對于第一傳動軸進行偏轉，使晶圓的表面與研磨墊的表面相貼合。該裝置可對研磨墊的位置進行自適應調整，以提高研磨墊與晶圓表面的接觸均勻性，從而提高晶圓的良率。

本發明授權化學機械研磨裝置在權利要求書中公布了：1.一種化學機械研磨裝置，其特征在于，包括： 研磨墊，所述研磨墊固定在研磨臺的表面上，所述研磨臺用于帶動所述研磨墊進行旋轉運動； 研磨頭，所述研磨頭用于夾持晶圓，所述研磨頭與所述研磨墊配合使用，以對所述晶圓進行研磨； 傳動組件，所述傳動組件包括依次連接的第一傳動軸、活動連接部和第二傳動軸，所述第二傳動軸的一端與所述研磨頭遠離所述晶圓的一端連接，所述第二傳動軸的另一端通過所述活動連接部與所述第一傳動軸連接，以在所述晶圓的表面與所述研磨墊的表面之間產生夾角時，所述第二傳動軸能夠相對于所述第一傳動軸進行偏轉，使所述晶圓的表面與所述研磨墊的表面相貼合； 多條導氣管道，多條所述導氣管道分別貫穿所述第一傳動軸、所述活動連接部與所述第二傳動軸，所述導氣管道與所述研磨頭連接，所述導氣管道用于為所述研磨頭提供壓縮氣體； 至少一個可軸向旋轉的密封接頭，所述密封接頭具有異形氣腔及管道連接口，其中，所述異形氣腔為弧形氣腔，以便在所述第二傳動軸發生偏轉時，所述密封接頭能夠通過所述弧形氣腔進行轉動，防止所述第二傳動軸在偏轉過程中發生卡頓。

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