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龍圖騰網(wǎng)獲悉寧波云涂科技有限公司申請(qǐng)的專利一種基于超聲-電磁懸浮復(fù)合分散系統(tǒng)的磁控濺射銀包電導(dǎo)材料粉體裝置及其應(yīng)用獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN120082856B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202510500183.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C14/35；該發(fā)明授權(quán)一種基于超聲-電磁懸浮復(fù)合分散系統(tǒng)的磁控濺射銀包電導(dǎo)材料粉體裝置及其應(yīng)用是由錢(qián)旦;胡鑫;張星翔;張祿洋;馬洋設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-04-21向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種基于超聲-電磁懸浮復(fù)合分散系統(tǒng)的磁控濺射銀包電導(dǎo)材料粉體裝置及其應(yīng)用在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明涉及磁控濺射技術(shù)領(lǐng)域，具體公開(kāi)一種基于超聲?電磁懸浮復(fù)合分散系統(tǒng)的磁控濺射銀包電導(dǎo)材料粉體裝置及其應(yīng)用。針對(duì)粉體團(tuán)聚、靶材利用率低及規(guī)模化生產(chǎn)均勻性差的技術(shù)難題，本發(fā)明以多孔陶瓷工裝盤(pán)為核心載體，集成高頻超聲振子陣列20?100kHz可調(diào)、平面矩形陰極傾角0?15°及亥姆霍茲線圈0.1?0.5T旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)，通過(guò)空化效應(yīng)、電磁懸浮與多靶協(xié)同濺射實(shí)現(xiàn)粉體非接觸式分散與銀層精準(zhǔn)包覆。工裝盤(pán)采用梯度孔徑設(shè)計(jì)，結(jié)合液氮微通道冷卻及模塊化分腔結(jié)構(gòu)，使粉體分散均勻性CV值5％、銀層孔隙率1％、靶材利用率52％及單爐產(chǎn)能72kg8h顯著優(yōu)化，為電子材料領(lǐng)域提供高效、環(huán)保的產(chǎn)業(yè)化解決方案。

本發(fā)明授權(quán)一種基于超聲-電磁懸浮復(fù)合分散系統(tǒng)的磁控濺射銀包電導(dǎo)材料粉體裝置及其應(yīng)用在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種基于超聲-電磁懸浮復(fù)合分散系統(tǒng)的磁控濺射銀包電導(dǎo)材料粉體裝置，其特征在于，包括： 磁控濺射爐體1，提供真空環(huán)境； 工裝盤(pán)2，設(shè)置在所述磁控濺射爐體1內(nèi)以承載電導(dǎo)材料粉體，其表面具有梯度孔徑結(jié)構(gòu)的通孔，所述通孔位于中心區(qū)域的孔徑小于位于邊緣區(qū)域的孔徑，所述通孔位于中心區(qū)域的孔密度大于位于邊緣區(qū)域的孔密度，所述工裝盤(pán)2在中心區(qū)域的通孔的孔徑為8-15μm、孔密度為1100-1400孔cm2，在邊緣區(qū)域的通孔的孔徑為40-60μm、孔密度為150-300孔cm2； 超聲振子陣列3，分布在所述工裝盤(pán)2的盤(pán)底，工作頻率為20-100kHz，功率密度為1-5Wcm2； 動(dòng)態(tài)磁場(chǎng)調(diào)控模塊4，設(shè)在所述工裝盤(pán)2的外圍，由亥姆霍茲線圈構(gòu)成，通以三相交流電生成0.1-0.5T旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)，驅(qū)動(dòng)電導(dǎo)材料粉體以80-200rpm自旋； 平面矩形陰極5，布置在所述磁控濺射爐體1的頂部，靶材為純度≥99.995％的銀，靶材傾角為0-15°，靶面中心距所述工裝盤(pán)2軸線120-320mm。

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