長鑫新橋存儲技術有限公司陳恩浩獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉長鑫新橋存儲技術有限公司申請的專利一種光刻機的能量校準方法及裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119987164B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510464927.9，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權一種光刻機的能量校準方法及裝置是由陳恩浩設計研發完成，并于2025-04-14向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種光刻機的能量校準方法及裝置在說明書摘要公布了：本公開實施例提供一種光刻機的能量校準方法及裝置。所述方法包括：利用溫度傳感器測量得到光刻過程中的溫度參數；根據預設關系模型，得到所述溫度參數對應的能量轉換系數；所述預設關系模型為能量轉換系數與溫度參數的關系模型；基于所述能量轉換系數對光刻機進行能量校準。
本發明授權一種光刻機的能量校準方法及裝置在權利要求書中公布了：1.一種光刻機的能量校準方法，其特征在于，所述方法包括： 獲取所述光刻機中光罩和或透鏡在不同溫度下的樣本溫度參數； 基于所述樣本溫度參數構建預設關系模型； 利用第一溫度傳感器和第二溫度傳感器測量得到光刻過程中的第一溫度參數和第二溫度參數；所述第一溫度傳感器與所述光刻機中光罩承載臺相鄰設置，所述第二溫度傳感器與所述光刻機中透鏡相鄰設置；所述第一溫度參數和所述第二溫度參數構成溫度參數； 根據預設關系模型，得到所述溫度參數對應的能量轉換系數；所述預設關系模型為能量轉換系數與溫度參數的關系模型； 基于所述能量轉換系數對光刻機進行能量校準。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人長鑫新橋存儲技術有限公司，其通訊地址為：230601 安徽省合肥市經濟技術開發區新淮大道2788號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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