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龍圖騰網(wǎng)獲悉武漢國科光領(lǐng)半導(dǎo)體科技有限公司申請的專利一種單片集成光發(fā)射芯片及其制作方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN119742660B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202411939831.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01S5/40；該發(fā)明授權(quán)一種單片集成光發(fā)射芯片及其制作方法是由趙自闖;蔣晨龍設(shè)計研發(fā)完成，并于2024-12-26向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種單片集成光發(fā)射芯片及其制作方法在說明書摘要公布了：本申請公開了一種單片集成光發(fā)射芯片及其制作方法，涉及半導(dǎo)體器件的技術(shù)領(lǐng)域，該芯片包括襯底、無源波導(dǎo)層、第一激光器層、第二激光器層、調(diào)制器層、包層和接觸層，無源波導(dǎo)層通過按照預(yù)定的圖案刻蝕形成，包括兩個輸入分支和一個輸出分支，第一激光器層設(shè)置在其中一個輸入分支上，第二激光器層及調(diào)制器層設(shè)置在另一個光信號輸入分支上，其中，兩個輸入分支的路徑耦合到輸出分支的路徑中，兩個激光器層上設(shè)置光柵，包層及接觸層設(shè)置在這些功能層上方；本申請在芯片中集成了兩種不同的激光器層，并通過預(yù)定圖案的無源波導(dǎo)層對不同激光器層發(fā)射的光信號進行合波輸出，本申請中的技術(shù)方案有效降低了光發(fā)射模塊的成本，減少功耗，提高產(chǎn)品可靠性。

本發(fā)明授權(quán)一種單片集成光發(fā)射芯片及其制作方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種單片集成光發(fā)射芯片的制備方法，其特征在于，所述制備方法包括： 步驟1，準備襯底（10），在襯底（10）上生長無源波導(dǎo)材料，并按照預(yù)定圖案對無源波導(dǎo)材料層進行刻蝕，形成無源波導(dǎo)層（30），所述無源波導(dǎo)層（30）包括第一輸入分支、第二輸入分支和輸出分支，在第一輸入分支所在區(qū)域劃分出第一激光器區(qū)及第一放大器區(qū)，在第二輸入分支所在區(qū)域劃分出第二激光器區(qū)、調(diào)制器區(qū)及第二放大器區(qū)，在輸出分支所在區(qū)域劃分出第三放大器區(qū)； 步驟2，至少在第一輸入分支所在區(qū)域生長短波長量子阱材料層，選擇性去除第一激光器區(qū)及第一放大器區(qū)以外的其他區(qū)域的短波長量子阱材料，形成第一激光器層（40）及第一放大器層（71）； 步驟3，分別在第二激光器區(qū)及第二放大器區(qū)的兩側(cè)制作特定間距的選擇區(qū)域外延掩膜對，然后至少在第二輸入分支及輸出分支所在區(qū)域生長長波長量子阱材料層，選擇性去除第二激光器區(qū)、調(diào)制器區(qū)、第二放大器區(qū)及第三放大器區(qū)以外的其他區(qū)域的長波長量子阱材料，形成第二激光器層（50）、調(diào)制器層（60）、第二放大器層（72）及第三放大器層（73）； 其中，所述第二激光器區(qū)兩側(cè)的選擇區(qū)域外延掩膜對的長度與第二激光器區(qū)的長度相同，所述第二放大器區(qū)兩側(cè)的選擇區(qū)域外延掩膜對的長度與第二放大器區(qū)的長度相同，兩對選擇區(qū)域外延掩膜對的特定間距均滿足條件：調(diào)制器層（60）及第三放大器層（73）的發(fā)光波長比第二激光器層（50）及第二放大器層（72）的發(fā)光波長短30至100nm； 步驟4，在第一激光器層（40）及第二激光器層（50）上分別制作第一光柵層（41）及第二光柵層（51）； 步驟5，在各個功能層上從下到上依次生長包層（80）及接觸層（90），使用掩膜覆蓋激光器區(qū)、放大器區(qū)及調(diào)制器區(qū)以外的其他區(qū)域的接觸層（90），并對未覆蓋區(qū)域的包層（80）及接觸層（90）進行p型摻雜。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人武漢國科光領(lǐng)半導(dǎo)體科技有限公司，其通訊地址為：430200 湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)流芳園橫路1號楚天傳媒生產(chǎn)基地二期1號樓1-2層；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。